张应力对准同形相界Pb渊在r袁Ti冤O薄膜相变和铁电性能-物理学报.PDF

物理学报摇 粤糟贼葬孕澡赠泽援杂蚤灶援摇 灾燥造援远园袁晕燥援怨 渊圆园员员冤摇 园怨苑苑园员 张应力对准同形相界孕遭渊在则袁栽蚤冤韵 薄膜相变和猿 铁电性能影响鄢 覮 闻心怡摇 王耘波 摇 周文利摇 高俊雄摇 于摇 军 渊华中科技大学电子科学与技术系袁武汉摇 源猿园园苑源冤 渊圆园员员年猿月猿园 日收到曰圆园员员年源 月圆愿 日收到修改稿冤 摇 摇 采用射频磁控溅射法在孕贼辕栽蚤韵 辕杂蚤韵 辕杂蚤 基片上制备了以月葬孕遭韵 渊月孕韵冤为缓冲层的孕遭渊在则 袁栽蚤 冤晕遭 韵 曾 圆 猿 园郾缘圆 园郾源愿 园郾园源 猿 渊晕遭掺杂孕在栽袁孕在栽晕冤薄膜援通过调整月孕韵层厚度袁为该孕在栽晕薄膜引入了不同的张应力援当月孕韵层厚度分别为远愿 灶皂和员猿缘灶皂时袁孕在栽晕薄膜呈现随机取向袁采用圆兹鄄泽蚤灶圆鬃 法测得薄膜的张应力为园郾苑愿远 和园郾怨圆郧孕葬援 电学测试表 明袁张应力较大的孕在栽晕薄膜具有更好的铁电和漏电流性能援当孕在栽晕薄膜张应力为园郾苑愿远郧孕葬 时袁剩余极化孕则 和 圆 原苑 原圆 矫顽场耘糟 分别为源员郾圆滋悦辕糟皂 和苑园郾苑噪灾辕糟皂袁在垣缘灾下漏电流密度分别为远郾缘苑伊员园 粤辕糟皂 曰而当张应力增 为园郾怨圆郧孕葬时袁剩余极化孕 增为源源郾员滋悦辕糟皂 袁矫顽场耘 减为缘愿郾员噪灾辕糟皂袁垣缘灾下漏电流密度为缘郾缘源伊员园圆 原愿 则 糟 原圆 粤辕糟皂 援以掠射方式对两种孕在栽晕薄膜做精细扫描袁并结合结构精修进一步分析袁分析表明张应力较大的孕在栽晕薄 膜中单斜相成份较多袁这可能是其铁电性能更加优异的原因援 关键词院孕在栽袁 准同形相界袁掠射扫描方式袁结构精修 孕粤悦杂院苑苑郾愿园郾原藻袁苑苑郾缘缘郾原早袁苑苑郾愿园郾遭灶袁远员郾缘园郾粤澡 菱方相的共存袁直到 员怨怨怨年晕燥澡藻凿葬等人咱远暂在酝孕月 员郾 引 言 区发现了单斜相渊皂燥灶燥糟造蚤灶蚤糟院葬屹遭屹糟袁琢 越酌 越怨园毅袁 茁屹怨园毅冤袁紧接着杂蚤灶早澡等人咱苑暂采用高分辨率同步载 孕遭渊在则 栽蚤冤韵 渊孕在栽冤及其掺杂改性薄膜是一类 射线衍射证明了在 栽蚤辕渊栽蚤垣在则冤豫 越园郾缘圆缘豫要 袁 猿 重要的铁电和压电材料袁广泛应用于非挥发铁电存 园郾远豫的范围内只存在单斜相而没有在菱方相援之后 储器和微机电系统咱员袁圆暂援 作为 孕遭栽蚤韵 渊孕栽韵冤和 的研究者普遍认可单斜相的存在才是孕在栽 在 酝孕月 猿 孕遭在则韵猿 渊孕在韵冤的固溶物袁孕在栽的相结构与其化学成 区域展现优异电学特性的原因援 分有密切关系援在传统上袁一般认为室温下 孕在栽 具 对于 孕在栽 薄膜材料来说袁由于应力的存在袁 有两种不同结构的铁电相袁富 栽蚤 的四方相 酝孕月 区的位置会发生一些偏移咱愿袁怨暂援孕藻则贼泽藻增 等 渊贼藻贼则葬早燥灶葬造院 葬 越遭 越糟袁琢 越怨