微型燃料电池制备及其微通道摩擦性能的研究-摩擦学学报.PDF

第 25 卷　第 6 期 摩 擦 学 学 报 25, 　 6 V o l N o 2005 年 11 月 TR IBOL O GY N ov , 2005 微型燃料电池制备及其微通道 摩擦性能的研究 黄　强, 朱新坚, 曹广益 (上海交通大学 电信学院自动化系燃料电池研究所, 上海　200030) 摘要: 阐述了微型燃料电池的制备过程, 结合传统燃料电池数学理论和微流体力学, 建立了微型质子交换膜燃料电池 ( ) ( ) PEM FC 的数学模型, 分析了微通道特性 如摩擦系数和水力直径等 对微型燃料电池性能的影响. 结果表明: 运用 F lu en t 软件对模型进行计算的仿真结果与公开实验数据基本符合, 验证了模型正确性; 而传统模型的仿真结果小于真 实值; 当气道的水力直径D h 从 348 降至 100 时, 电池性能有所上升; 而当D h 值降至 6 1. 1 时, 其性能有所下降. 关键词: 微型燃料电池; 数学模型; 微通道; 摩擦系数; 水力直径 中图分类号: TM 9 11. 4; TH 117. 2 文献标识码: A 文章编号: (2005) 　　完整的微型燃料电池系统包括微型燃料罐、微型 料电池. 由于其具有较大比表面积, 因此其性能较传 燃料转化器、微型燃料电池、各种温度流量传感器及 统燃料电池大幅提高. 微阀门等. 但通过实验发现, 微电子机械系统中的流 图 1 所示为 P EM FC 的制备过程. 开始材料是 体力学行为与其对应的宏观规律并不相同, 对这些小 厚度为 525 ±25 、4 英寸、 型、 100 定位的双 m N 器件操作和制造过程中所涉及的非经典物理问题远 面抛光的硅晶片, 将其放入 1 200 ℃的热扩散炉中, [ 1 ] 未获得应有的认识 . 淀积出 0. 7 m 的 SiO 2 层作为 Si 刻蚀保护层, 然后 [2 ] 等 于较早时期应用 方 通过掩膜和光刻技术, 在硅片正面绘制燃料的进出 B ern ard i N ern st P lack 程、 方 程、 方 程 和 口. 在 115 ℃下用有机腐蚀剂 ( 乙二胺: 邻苯二 Scho g l B u lter V o lm er Stefan