甲醛气体传感器的研制-微电子学与固体电子学专业论文.docxVIP

分类号U 分类号 U D C- ． 密级 公 亚 ． 署哦 ≯产篝 硕士研究生学位论文 甲醛气体传感器的研制 申请人： 曹国辉 学 号： 2121295 培养单位： 电子工程学院 学科专业： 微电子学与固体电子学 研究方向： 功能材料与器件 指导教师： 张振辉教：授 完成日期： 2015年3月28日 万方数据 中文摘要甲醛广泛存在予工业制造产业和家庭装修之中，甲醛的致癌性对人身体的伤 中文摘要 甲醛广泛存在予工业制造产业和家庭装修之中，甲醛的致癌性对人身体的伤 害最大。因此实现快速检测甲醛，是关乎人们生命健康的大事，具有深远意义。 本文基于Sn02材料的优异特征，对其进行掺杂处理制作出了甲醛气体传感器，并 进行了性能测试。 本文利用氧化、光刻、溅射、剥离等工艺步骤在硅衬底上制作了金电极。利 用溶胶．凝胶法制备Sn02薄膜、Ti掺杂的Sn02薄膜、Cu掺杂的Sn02薄膜。先将 制备好的薄膜利用匀胶工艺将薄膜涂覆在叉指电极上，然后对薄膜进行干燥、退 火处理。通过XRD、SEM和AFM表征分析结果，最终确定最佳的退火温度是 550C。其中Cu掺杂晶粒尺寸25nm，薄膜厚度l 80nm，分散性较好，满足实验要 求。本文也利用磁控溅射法制作了Ti掺杂的SnOz薄膜。 通过对元件气敏特性分析，确定了未掺杂元件的最佳温度为240。C，掺杂元件 是230。C。对无掺杂、掺杂Ti、掺杂Cu的元件分别测量灵敏度、重复性、响应时 间和恢复时间等参数。通过性能比较可知，Ti掺杂元件优于Cu掺杂元件，也优于 无掺杂的元件，其中灵敏度更为明显。与未掺杂的情况下相比，掺杂的元件的响 应时间和恢复时间都有明显缩短。本文在原理上对差异进行了讨论。 关键词：二氧化锡；甲醛；溶胶．凝胶；磁控溅射法；灵敏度 万方数据 黑龙江大学硕士学位论文Abstract 黑龙江大学硕士学位论文 Abstract Formaldehyde is widely present in industrial manufacturing and home decoration， it is harmful to human health especially for the careinogenicity．Therefore，rapid detection of formaldehyde is related to people’S lives and health，which has far-reaching significance．According to the excellent features of Sn02 materials and doping processes on Sn02，formaldehyde sensor is produced in this paper．Finally,I test the formaldehyde Au electrode on the Si is manufactured by oxidation，photolithography，sputtering， peeling process．Sn02 thin films，Ti—doped Sn02 thin films and Cu—doped Sn02 thin films manufactured by Sol-gel，the films are coated on the electrode before drying process and annealing process．The films are also analyzed by XRD，SEM and AFM．By comparison，550(2 is the best annealing temperature．Diameter of the particles Cu doped is about 25nm．The thickness of the film is 1 80nm．The particles disperse well which meet the test requirements．Ti—doped Sn02 thin film is manufactured by magnetron sputtering too． By gas sensing properties，240。C is the best optimum temperature for doped element．and 230C is for the doped．Undoped，Ti—doped and Cu-doped components are measured sensitivity,reproducibility，res