激光泰曼干涉的研究与应用.DOC

目 录 PAGE 目 录 目 录 TOC \o 1-3 \h \z HYPERLINK \l _Toc137552750 摘 要 PAGEREF _Toc137552750 \h I HYPERLINK \l _Toc137552751 Abstract PAGEREF _Toc137552751 \h II HYPERLINK \l _Toc137552752 1　绪论 PAGEREF _Toc137552752 \h １ HYPERLINK \l _Toc137552753 2　激光泰曼干涉仪原理和特点 PAGEREF _Toc137552753 \h １ HYPERLINK \l _Toc137552754 2.1总体结构和特点 PAGEREF _Toc137552754 \h １ HYPERLINK \l _Toc137552755 2.2 光学系统的各种干涉条纹及成像原理 PAGEREF _Toc137552755 \h ３ HYPERLINK \l _Toc137552756 2.2.1等倾干涉原理 PAGEREF _Toc137552756 \h ３ HYPERLINK \l _Toc137552757 2.2.2 等厚干涉原理 PAGEREF _Toc137552757 \h ３ HYPERLINK \l _Toc137552758 2.2.3 泰曼干涉原理 PAGEREF _Toc137552758 \h ４ HYPERLINK \l _Toc137552759 2.2.4 泰曼干涉条纹的特性 PAGEREF _Toc137552759 \h ５ HYPERLINK \l _Toc137552760 3　泰曼干涉的应用研究 PAGEREF _Toc137552760 \h ６ HYPERLINK \l _Toc137552761 3.1 泰曼干涉仪的综合精度计算 PAGEREF _Toc137552761 \h ６ HYPERLINK \l _Toc137552762 3.2用泰曼干涉仪检测室内微小振动和空气流动 PAGEREF _Toc137552762 \h ６ HYPERLINK \l _Toc137552763 3.3用泰曼干涉仪检测系统内温度变化 PAGEREF _Toc137552763 \h ７ HYPERLINK \l _Toc137552764 3.4 用泰曼干涉仪来检验直角棱镜的综合质量 PAGEREF _Toc137552764 \h ８ HYPERLINK \l _Toc137552765 3.4.1 泰曼干涉中直角棱镜干涉条纹的理论分析 PAGEREF _Toc137552765 \h ８ HYPERLINK \l _Toc137552766 3.3.2 泰曼干涉系统下的直角棱镜干涉条纹与分析 PAGEREF _Toc137552766 \h １３ HYPERLINK \l _Toc137552767 4 结论与展望 PAGEREF _Toc137552767 \h １８ HYPERLINK \l _Toc137552768 4.1 结论 PAGEREF _Toc137552768 \h １８ HYPERLINK \l _Toc137552769 4.2 展望 PAGEREF _Toc137552769 \h １８ HYPERLINK \l _Toc137552770 5 鸣 谢 PAGEREF _Toc137552770 \h ２１ HYPERLINK \l _Toc137552771 6 参考文献 PAGEREF _Toc137552771 \h ２１ HYPERLINK \l _Toc137552772 7 附录 PAGEREF _Toc137552772 \h ２３ 摘 要 - PAGE I - 摘 要 本文深入讨论了激光束干涉产生的原理，研究了激光泰曼干涉仪的工作机理和泰曼干涉仪产生的等厚干涉条纹，并利用HA-3型便携式光学实验部件组成激光泰曼干涉系统；从理论上分析了直角棱镜在泰曼干涉系统中各种误差对产生的干涉条纹的影响，并利用分析得到的结果对2个直角棱镜实际上的干涉条纹进行对比和讨论；介绍了泰曼干涉仪的多种应用，并探讨了用安装好电视摄像机和微机的泰曼-电视-微机系统进行振幅测量的原理和方法；从理论上分析了用泰曼干涉系统测算直角棱镜的角度误差的公式，并得出干涉系统理论上能测算出无限小的直角误差。最后结果表明：在测算直角棱镜的直角误差上，泰曼干涉系统较其它器件有极大的优越性。但在精确地测量棱镜的表面误差时，有一定局限性。这个泰曼干涉系统能快速评定透镜的表面质量和角度误