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2005-7-28 新技术应用推广中心 PCB对位精度介绍 新技术应用推广中心 内层曝光机 Mutiline冲孔机和 PIN-LAM Mutiline冲孔机对位精度:±1.0mil Pin-Lam对位精度:±2.0mil X光机 钻2个钻孔管位孔和1个方向孔 X光钻孔对位精度: ± 0.8mil 机械钻孔机 对位方式:孔槽对位,零位设在板中心 。在机械钻机的每个工作台面上都有一个孔(TOP点)和一个长槽在同一条直线上,上板时一个PIN位于TOP点,另一个PIN随板件的长短在槽内移动。 机械钻孔对位精度:±2.0mil 外层曝光机 曝光机型号:志圣半自动曝光机 对位方式:手动调整使上或下菲林与对位孔重叠 标靶数:2个 曝光方式:单面曝光 对位精度: ±2mil 感光阻焊曝光机 曝光机型号:志圣 对位方式: 手动对位调整使菲林与对位标靶重叠 标靶数:4个或2个 曝光方式:单面曝光 对位精度:±2mil 菲林涨缩控制 内层菲林---------------±1.5mil 次外层菲林------------±1.5mil 激光窗菲林------------±1.5mil 外层菲林---------------±2.0mil 感光菲林---------------±2.0mil 内层层间对位精度分析 内层层间对位精度分析 菲林涨缩变化:±1.5mil 曝光机对位精度:±0.6mil 蚀刻后板件涨缩: ±1.0mil 冲孔对准度:±1.0mil 层间对准度: ±2.0mil X光钻孔对准度: ±0.8mil 机械钻孔对准度:±2.0mil 内层层间对位精度: 1.52+0.62+1.02+1.02+2.02+0.82+2.02 =3.60mil 内层焊环(相对于钻孔)单边要求3.60mil以上 适用范围:高多层板、BUM板采用PIN-LAM的部分 内层层间对位精度分析 菲林涨缩变化:±1.5mil 对位精度:±0.6mil 蚀刻后板件涨缩: ±1.0mil X光对准度: ±0.8mil 机械钻孔对位精度:±2.0mil 内层层间对位精度: 1.52+0.62+1.02+0.82+2.02 =2.87mil 内层焊环(相对于钻孔)单边要求2.87mil以上 适用范围:四层板 内层层间对位精度分析 菲林涨缩变化:±1.5mil 对位精度:±0.6mil 蚀刻后板件涨缩: ±1.0mil X光对准度: ±0.8mil 机械钻孔对位精度:±2.0mil 叠层对准度:±3.0mil 内层层间对位精度: 1.52+0.62+1.02+0.82+2.02 +3.02=4.15mil 内层焊环(相对于钻孔)单边要求4.15mil以上 适用范围:采用MASS-LAM的高多层板 外层图形对位精度 机械钻孔对位精度:±2.0mil 外层曝光机对位精度:±0.6mil 菲林涨缩变化:±2.0mil 外层图形对位精度: 2.02 + 0.62 +2.02 =2.89mil 外层焊环(相对于钻孔)单边要求2.89mil以上 适用范围:所有板件 激光钻孔对位精度 激光钻孔对位精度 激光钻孔对位精度 激光钻孔对位精度 机械钻孔对位精度:±2.0mil 外层曝光机对位精度:±0.6mil 菲林涨缩变化:±1.5mil 外层曝光机对位精度:±0.6mil 菲林涨缩变化:±1.5mil 外层图形对位精度: 2.02 + 0.62 + 1.52 +0.62 +1.52 =3.04mil 外层连接盘(Capture Pad)单边要求3.04mil以上 适用范围:BUM板件 感光阻焊对位精度 曝光机对位精度:±0.8mil 感光阻焊菲林涨缩变化:±2.0mi 感光阻焊对位精度: 0.82 +2.02 =2.15mil 绿油窗(相对于完成后的外层线路)单边要求2.15mil以上 适用范围:所有板件 激光直接钻铜皮对位方式及精度 激光直接钻铜皮—Copper Direct 对位方式:CCD镜头调整对位 标靶数:4个,位于次外层,外层铜皮由激光直接打掉 钻孔方式:两面分别钻孔 激光直接钻铜皮对位方式及精度 激光直接钻铜皮对位精度:±0.6mil 钻孔时直接对准内层Pad,因此与传统激光钻孔相比,对位精度有明显提高。 4次积层对位方式及精度 对位方式: 采用图形对位,标靶图形位于次外层。 与激光直接钻铜皮的对位方式类似,区别在于标靶处的外层铜皮以图形转移的方式提前蚀刻掉。 4次积层对位方式及精度 曝光机对位精度:±0.6mil 菲林涨缩变化:±1.5mil 激光钻孔位置精度:±0.6mil 激光钻孔对位精度: 0.62 + 1.52 +0.62
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