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第! 卷 第# 期 山东 建 筑 大 学 学 报 59:; ! +9; #
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文章编号：#K?% ?K@@ （!$#% ）$# $$@! $@
氧氩比对铒镱掺杂氧化锌薄膜的结构和光波
导特性的影响
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宋红莲，王凤翔 ，陈志华，孙舒宁
（山东建筑大学 理学院，山东济南!J$#$#）
摘要：氧化锌作为一种良好的发光材料广泛应用于太阳能电池、气敏传感器、紫外探测器、光电器件、透明电极
等诸多领域。文章应用磁控溅射技术制备铒镱掺杂的氧化锌薄膜，利用U 射线（U*1 ）和棱镜耦合技术，分析研
究了氧氩比对铒镱掺杂的氧化锌薄膜的结构和光波导特性的影响。结果表明：氧氩比对薄膜的结构和光波导
特性有重要影响，当氧氩比为! ：#K 时，薄膜的衍射峰的强度较大，半高宽（.V0W ）较窄，有效折射率接近4G(
薄膜的折射率，降低氧氩比有利于增强薄膜的! 轴择优取向。
关键词：磁控溅射技术；铒镱掺杂氧化锌；氧氩比；石英；蓝宝石
中图分类号：
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