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红外探测器用BST热释电材料研究 第 PAGE \* Arabic \* MERGEFORMAT 14 页 红外探测器用BST热释电材料研究 电子科学与技术系 电子0805班 U200813818 [梁梦冰] 2011-1-20  概述及发展现状 红外探测技术是国家安全依赖的重要技术手段，是近年来的局部战争侦察使用的尖端技术之一。与微光夜视技术相比，它具有视距远、全天候、全被动式工作、识别伪装能力强等优点，在军事领域起着重要的作用[1]。当前，军事需求依然充当着红外技术发展的主要推动力，但民用红外技术业已逐渐普及到各个领域。红外传感器、遥感控制、非接触式测温、红外热成像仪和远红外热分析仪等已有一定批量的产品，正处于形成产业化的前期。红外技术在国民经济各部门和日常生活中的应用具有巨大的潜力和广阔的市场。 热释电效应指的是电介质的极化随温度改变的现象。设想一个单畴化了的铁电体，其中极化的排列使靠近极化矢量两端的表面附近出现束缚电荷。在热平衡状态，这些束缚电荷被来自体内的等量反号的自由电荷所屏蔽，所以铁电体对外界并不显示电的作用。当温度改变时，极化发生变化，原先的自由电荷不能再完全屏蔽束缚电荷，于是表面出现自由电荷，它们在附近的空间形成电场，对带电微粒有吸引或排斥作用。如果与外电路连接，则可在电路中观测到电流，升温和降温两种情况下电流的方向相反。 热释电红外探测器属于非制冷热型探测器，它是利用材料的热释电效应探测红外辐射能量的器件。与其他热探测器(如微测辐射热计)相比，热释电薄膜红外探测器的灵敏元就其结构而言本身可作为一个滤波器，可以将一定量的噪声旁路分离掉，故其噪声小于其它类型红外探测器的噪声，热时闻常数t也相对较小。与热释电体材料(单晶和陶瓷)混合式红外探测器相比，热释电薄膜继承了热释电陶瓷容易制备、易于掺杂改性等优点，又具有灵敏元薄、体积比热小、灵敏度高、响应速度快、易与半导体IC平面工艺兼容等特点。近年来，随着红外探测技术的发展，特别是对热释电薄膜材料的性能、制备以及探测器结构、工艺研究的深入，热释电红外探测器易于热成像及性能价格比高的优点就更加突出，它与快速、宽频响应以及室温工作等特性结合在一起，使热释电红外探测器成为目前大多数光电应用的首选红外探测器。 热释电材料（pyroelectric material）是指具有自发极化特性的晶体材料。自发极化是指由于物质本身的结构在某个方向上正负电荷中心不重合而固有的极化。一般情况下，晶体自发极化所产生的表面束缚电荷被吸附在晶体表面上的自由电荷所屏蔽，当温度变化时，自发极化发生改变，从而释放出表面吸附的部分电荷。晶体冷却时电荷极性与加热时相反。热释电材料是一种压电材料，是不具有中心对称性的晶体。 BST属于铁电体，具有铁电性，不同配方的BST具有不同的居里温度Tcurie和奈耳温度Tn,对其参杂比较广泛，不同的参杂配方可以对BST的铁电和介电性能有显著的改善。现有配方已可以研制出居里温度低于室温的块材和薄膜，在研究的初期受到关注的可替代 SiO2 的高介电系数的介电材料是Ta2O5，BST比Ta2O5具有更高的常温下介电常数值。BST是BaTiO3和SrTiO3的固溶体。BaTiO3和SrTiO3是钙钛矿结构的高介电系数的铁电材料。块材料的BaTiO3 和SrTiO3 已经深入的研究过了，它们的介电系数可以达到1,000 的数量级。“关于将 BST 薄膜集成到半导体工艺中的研究工作最早来自日本的半导体公司。 配方来源及理论依据 2.1 热释电效应与热释电体 在32种对称点群的晶体材料中，有21种点群不具有对称中心,，其中有20种会具有压电性，而在具有压电性的 20 种没有对称中心的点群中，有三斜 1、单斜m 和 2、菱方2mm、三角3 和3m、四方4 和 4mm 以及六方6 和 6mm 等10 种点群具有特殊极性方向[3]，这个方向与晶体的其他任何方向都不是对称等效的，只有属于这些点群的晶体，才能具有自发极化。在温度发生改变时，会在晶体表面出现多余电荷，这一效应被称为热释电效应。 在热平衡状态，热释电体表面的束缚电荷被等量反号的自由电荷所屏蔽，所以热释电体对外界并不显示电的作用。当温度改变时，极性发生变化，原先的自由电荷不能再完全屏蔽束缚电荷，于是表面出现自由电荷，它们在附近空间形成。电场，对带电微粒有吸引或排斥作用。如果与外电路连接，则可在电路中观测到电流。升温和降温两种情况下电流的方向相反。与铁电体中的压电效应相似，热释电效应中电荷或电流的出现是由于极化改变后对自由电荷的吸引能力发生变化，使在相应表面上自由电荷增加或减少。不同的是，热电效应中极化的改变由温度变化引起，压电效应中极化的改变是由应力引起。 2.2 热释电探测器原理 热释电材料经过近几十年的发展，其种类大为