25MW太阳能电池工艺流程及国内外设备对照清单.docx

-- - 25MW 太阳能电池工艺流程清单 序号 工序流程 所 用 设 设备性能 所 用 设 备数 总价（万元） 建议 备 量 进口设备特点 参考价 国产设备特点 参 考 价 1 制绒 制绒台 自动化程度高， 300 万 1．全自动： 对硅 但对硅片外型 片 外 型 尺 寸 尺寸要求高，也 要求高 国内 并不太适用 部 分 厂 家 采 用 2．手动： 对硅片 外 型 尺 寸 要 求不高，价格 便宜，但人为 因 素 对 产 品 质量有影响 2 扩散 （掺 扩散炉 无需进口 600 万 设备性能稳定， 杂） 已 完 全 取 代 进 口。 3 刻蚀 （去 刻蚀机 无需进口 80 万 设备性能稳定比 周 边 杂 国外设备好，已 质） 完全取代进口。  130 万 1 套 130 国产自动 万 100 万 三台 300 国产 20 万 四台 80 国产 4 酸洗 （去 酸洗台 自动化程度高， ．全自动：对硅 60 万 一套 60 国产自动 1 磷 硅 玻 但对硅片外型 片 外 型 尺 寸 璃） 尺寸要求高，也 要求高 国内 并不太适用 部 分 厂 家 采 15 万 用 2．手动：对硅片 外型尺寸要求不 高，价格便宜。 5 镀膜 手 动 喷 APCVD 镀膜， 500 万 APCVD 镀膜国 一台 500 进口 APCVD 镀 台 或 内没工业化生产 或 PECVD APCVD 设备。 或 手动喷膜：自动 15 万 PECVD 化程低，有色差 1400 万 （ 人 为 因 素 干 扰），但价格便宜 6 印背场 网印机 全自动：自动化 120 万 全自动国内没有 二套 240 进口 程度高，但对硅 片外型尺寸要 40 万 半自动：人工装 18 万 求高，印刷稳定 卸片，能满足要 半自动：人工装 求 卸片，印刷稳定 7 烘干 烘干炉 设备简单无需 50 万 设备性能稳定比 12 万 二台 24 国产 进口 国外设备好，已 完全取代进口。 8 印背电极 网印机 全自动：自动化 120 万 全自动国内没有 进口 程度高，但对硅 二套 片外型尺寸要 40 万 半自动：人工装 18 万 240 求高，印刷稳定 卸片，能满足要 半自动：人工装 求 卸片，印刷稳定 9 烘干 烘干炉 设备简单无需 50 万 设备性能稳定比 12 万 二台 24 国产 进口 国外设备好，已 完全取代进口。 10 印栅极 网印机 全自动：自动化 120 万 全自动国内没有 二套 240 进口 程度高，但对硅 片外型尺寸要 40 万 半自动：人工装 18 万 求高，印刷稳定 卸片，能满足要 半自动：人工装 求 卸片，印刷稳定 11 烧结 烧结炉 自动化程度高， 200 万 设备性能接近国 45 万 二套 90 国产一套，进 性能稳定 外设备，已有部 口一套 分厂家使用，较 果也好，价格便 宜。 12 分检 测试台 全自动：全自 200 万 全自动：国内没 一套 350 进口 动：自动化程度 有 高，性能稳定， 但对硅片外型 30 手动：性能不太 18 万 尺寸要求高 稳定，但价格便 手动：性能稳定 宜。