资料科学分析解析技术(扫描电子显微镜)文档资料.pptVIP

* （1）分辨能力 对微区成分分析而言，它是指能分析的最小区域；对成像而言，它是指能分辨两点之间的最小距离。 入射电子束束斑直径 入射电子束在样品中的扩展效应 成像方式及所用的调制信号 二次电子像的分辨率约为4-6nm，最好的现在达到0.9nm。X射线的深度和广度都远较背反射电子的发射范围大，所以X射线图像的分辨率远低于二次电子像和背反射电子像。 * SEM的分辨率高低与检测信号种类有关。 信 号 二次电子 背散射电子 吸收电子 特征X射线 俄歇电子 分辨率 5～10 50～200 100～1000 100～1000 5～10 各种信号成像分辨率（nm） * 影响分辨率的三大因素：1、电子束束斑大小　2、检测信号类型　3、检测部位原子序数SEM的分辨率是通过测定图象中两个颗粒间的最小距离确定的。 日立s-570：3.5nm * (2)放大倍数 扫描电镜的放大倍数可用表达式 M=AC/AS 式中AC是荧光屏上图像的边长， AS是电子束在样品上的扫描振幅。 90年代后期生产的高级SEM的放大倍数从数倍—80万倍。介于光学显微镜和透射电镜之间。 * （3） 景深 d0分辨率， ?电子束的入射角 景深是指一个透镜对高低不平的试样各部位能同时聚焦成像的一个能力范