压电超声换能器的阻抗匹配分析.docxVIP

第３６卷 第５期 压 电 与 声 光 Ｖｏｌ．３６Ｎｏ．５ ２０１４年１０月 ＰＩＥＺＯＥＬＥＣＴＲＩＣＳ ＆ ＡＣＯＵＳＴＯＯＰＴＩＣＳ Ｏｃｔ．２０１４ 文章编号 ：１００４－２４７４（２０１４）０５－０７４５－０３ 压电超声换能器的阻抗匹配分析 徐 晓 伟 （中国船舶重工集团公司 第七一五研究所 ，浙 江 杭州 ３１００１２） 摘 要 ：介绍了压电超声换能器在串 、并联谐振时的等效电路 ，并 对换能器工作在两种谐振频率时的实时跟踪 和工作性能进行了详细分析 ，通过对换能器的外部 ＬＣ 串联匹配分析和相应的阻抗匹配变换 ，提出了压电超声 换能 器在并联谐振角频率附近 ，具有很好的功率自动调节性能 。 关键词 ：压电超声换能器 ；阻 抗匹配 ；谐 振 ；等 效 ；变 阻 中图分类号 ：ＴＢ５５２ 文献标识码 ：Ａ ＡｎａｌｙｓｉｓｏｎｔｈｅＭａｔｃｈｉｎｇＩｍｐｅｄａｎｃｅｏｆＰｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃＵｌｔｒａｓｏｎｉｃＴｒａｎｓｄｕｃｅｒ ＸＵ Ｘｉａｏｗｅｉ （７１５ｔｈＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＣｈｉｎａＳｈｉｐｂｕｉｌｄｉｎｇＩｎｄｕｓｔｒｙＣｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ，Ｈａｎｇｚｈｏｕ３１００１２，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｅｑｕｉｖａｌｅｎｔｃｉｒｃｕｉｔｏｆｔｈｅｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃｕｌｔｒａｓｏｎｉｃｔｒａｎｓｄｕｃｅｒｉｎｓｅｒｉｅｓ，ｐａｒａｌｌｅｌｒｅｓｏｎａｎｔｏｆｔｈｅ ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒｉｓｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄ．Ｔｈｅｉｎ－ｔｉｍｅｔｒａｃｋｉｎｇａｎｄｗｏｒｋｉｎｇｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｗｏｒｋｉｎｔｈｅｔｗｏｒｅｓｏｎａｎｔｆｒｅｑｕｅｎｃｉｅｓａｒｅ ａｎａｌｙｚｅｄｉｎｄｅｔａｉｌ．ＴｈｒｏｕｇｈｔｈｅｅｘｔｅｒｎａｌＬＣｓｅｒｉｅｓｍａｔｃｈｉｎｇａｎａｌｙｓｉｓｏｆｔｈｅｔｒａｎｓｄｕｃｅｒａｎｄｔｈｅｃｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇｉｍｐｅｄ－ ａｎｃｅｍａｔｃｈｉｎｇｔｒａｎｓｆｏｒｍａｔｉｏｎ，ｔｈｅｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃｕｌｔｒａｓｏｎｉｃｔｒａｎｓｄｕｃｅｒｓｈｏｗｓｇｏｏｄｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｏｆａｕｔｏｍａｔｉｃｒｅｇｕｌａ－ ｔｉｏｎｗｉｔｈｐｏｗｅｒａｔｎｅａｒｐａｒａｌｌｅｌｒｅｓｏｎａｎｔａｎｇｕｌａｒｆｒｅｑｕｅｎｃｙ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃｕｌｔｒａｓｏｎｉｃｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ；ｉｍｐｅｄａｎｃｅｍａｔｃｈｉｎｇ；ｒｅｓｏｎａｎｃｅ；ｅｑｕｉｖａｌｅｎｔ；ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ ０ 引言 随着超声技术的发展进步 ，超 声清洗、焊 接、生 化学、无损检测、医疗等应用变得越来越普及 。当超 声振动系统工作在谐振状态时 ，能量转换效率最高 ， 发热最小，寿命更久，因此要求对换能器进行阻抗匹 配，使 振 动 系 统 在 谐 振 点 附 近 工 作。 换 能 器 的 匹 配［１］主要包括 调谐、变 阻及滤波。 调谐的作 用 是 外 加一个电抗来减少或消除换能器本身的电抗 ，使 换 能器阻性负载功率增加 ；变阻的目的是将换能器的 阻抗变换至合适的值，使换能器输出足够的功率 ；滤 波是因为开关型电源的输出是方波 ，含 有大量的谐 波成分，需设计合理的滤波网络滤除来谐波 ，滤波可 减少换能器的发热，提升设备效率。 １ 换能器等效电路 换能器是一种非线性容性负载 ，其 等效电路如 图１ 所示。 图中，Ｃ０ 为换能器的静态电 容，主 要 是 指换能器 因 夹 持 而 产 生 的 电 容 ，一 般 为 １０－９ Ｆ 量 级；Ｒ０ 为压电陶 瓷 片 内 的 介 质 电 损 耗，通 常 可 忽 略 其影响（一般认为 Ｒ０ 为无穷大）；Ｌｍ 为动态电感，由 换能器质量引起；Ｃｍ 为动态电容，由 换能 器 力 顺 引 起，量级为 １０－１２ Ｆ；Ｒ１ 为 动 态 电 阻，由 换 能 器 机 械 损耗引起；ＲＬ 为负载电阻 （无 负载时 ＲＬ ＝０）；Ｒｍ ＝ Ｒ１＋ＲＬ 。 图 １ 换能器内部等效电路 １．１ 串联等效 当换能器串联支路谐振时，即 工作在串联谐振 角频率ωｓ＝１／槡ＬｍＣｍ 时，Ｌｍ 与 Ｃｍ 电抗相抵消，则 换能器等效电路如图 ２（ｂ）所 示，进 一步将电路作等 效变换，等效电路如图２（ｃ）所示。 图 ２ 换能器串联谐振等效电路变换 收稿日期 ：２０１３－１２－０２ 基金项目 ：国 家“八 六三”计划基金资助项目（２０１１ＡＡ０９Ａ１０７） 作者简介 ：徐 晓伟（１９８２－），男 ，浙 江兰溪人 ，工 程师 ，主要从事功率超声的开发与应用的研究 。 ７４６ 压 电 与 声 光 ２０１４年 电路的总阻抗和串联支路参数为 由式（５）、（６）