基于AFM的纳米机械刻划切屑形成研究-机械制造及其自动化专业论文.docxVIP

摘要摘要 摘要 摘要 扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope，SPM)是扫描隧道显微 镜及各种新型探针显微镜的统称，是国际上近年发展起来的表面分析仪器， 是综合运用各种现代科技成果的光、机、电一体化的高科技产品。原子力显 微镜(AFM)是继扫描隧道显微镜(STM)之后发明的一种具有原子级高分 辨的新型仪器，可以在大气和液体环境下对各种材料和样品进行纳米区域的 物理性质包括形貌进行探测，或者直接进行纳米操纵，其分辨率高，可以在 真空、大气和液体环境下工作的优势，在纳米技术研究领域得到了广泛的应用。 基于原子力显微镜的机械刻划加工具有精度高而且加工同时可以对表面监测等优 点。因此，对基于原子力显微镜的纳米刻划相关技术进行深入研究，具有重要的 理论意义与实用价值。 切屑的形成和对切屑产生影响的因素是机械加工中的一项重要研究内容。本 文通过基于AFM的机械刻划加工方法，对超精密加工中切屑的形成、形貌的影 响因素进行了研究。 本文首先对针尖刻划过程以及基于AFM的刻划机理进行了分析。基于AFM 的刻划加工可以分为两个过程，即压入过程和刻划过程。针尖压入样品表面，随 着针尖的移动，针尖前材料堆积增多，发生断裂随着针尖被带走，形成切屑。本 文随后通过变化不同参数(进给量、刻划速度、垂直载荷、循环次数和不同进给 方向等)进行刻划试验，通过扫描电镜(SEM)对刻划后试件形成切屑进行观 察。通过实验结果，分析各种参数的切屑形成、形貌的影响和变化规律。最后， 本文对基于AFM的机械刻划的最小切削厚度进行了研究，推导出最小切削厚度 与针尖圆弧半径、垂直载荷与切向力比值以及针尖与样品间摩擦系数的近似关 系。然后通过改变载荷的大小，进行刻划单线加工，加工后用原子力显微镜进行 成像，找到形成切屑的临界载荷值以及加工厚度，之后又变换试件材料进行对比 试验研究。实验结果与推导值相对比，基本相符。 关键词原子力显微镜(AFM)；机械刻划；切屑形成；最小切削厚度 AbstractAbstract Abstract Abstract Scanning probe microscopy(SPM)，which is one of the important tools for nanotechnology research，has been widely employed in nanotechnology field with its tligh resolution and ability of working in vacuunl，atmospheric and liquid environment． Mechanical scratching machining that based on the atomic force microscope(AFM)has lots of advantages，such as hi【gh accuracy,monitoring the surface while machining． Therefore，the further research to nano scratching related technologies based on AFM， has much theory meaning and practicality value． Research on chip formation and its influencing factors is one of important contents in the field of Mechanical machining research．So，this paper studies for the influencing factors on chip formation and morphological characteristics via the mechanical scratching machining ofAFM．． Firstly,the process of needlepoint scratching and AFM scratching mechanism are analyzed。At the beginning of AFM scratching machining，it is a process of indentation． With the movement of the needlepoint,the accumulation of materials that adhere to anterior needlepoint is gradually increased，then fractured