回转式压电微角度执行器驱动控制及检测系统的研究-测试计量技术及仪器专业论文.docxVIP

摘要 微位移驱动技术是当今世界各国研究的热点问题，是纳米测量及加工技术中 的关键技术之一，随着科学技术的发展，在电子、光学、生物、制造等众多技术 领域中，迫切需要高精度、高分辨力、能够灵活控制的驱动控制及检测系统，用 以直接进行有关工作或配合其它仪器设备完成高精度的研究和应用。正是这些需 要，极大地促进了位移驱动定位技术的发展。在纳米技术的许多领域，迫切需要 大行程高分辨力的驱动定位及检测系统，以实现高精度的定位。 课题对角位移驱动定位技术进行了探索。在巳有的回转式压电微角度执行稽 ‘ 的基础上研究其驱动控制和角度检测技术，设计出…种多功能的驱动控制及检测 系统，可以提供不同的波形、频率及幅值的驱动信号来控制压电执行器的运动， 同时采用分立元件法研究出高精皮、商稳定性的压电陶能驱动电源。 压电微角度执行器运用了推拉接力原理和柔性饺链机构设计进行微位移 运功，同时又集成了圆光栅作为角位移传感器检测运动角位移。驱动控制系统以 DSP 芯片为核心，输出频率、帽值和步数可调的波形，对执行器的运动进行驱动 和定位。课题还设计出一个利用分立元件实现高压放大功能的压电陶瓷驱动电 源，将 DSP 输出小电压信号进行无失真的放大，从而精确的驱动用于执行器运动 的压电陶瓷。该电源具有输出电压稳定、线性度好、输出范围和服动能力满足使 用要求、静态纹波低等优点。 在研究设计的基础上搭建出整个系统平台，制造出驱动电源样机并完成调 试。对整个驱动控制和角位移检测系统进行测试得出整个系统具有较高的建复性 测最精度。 关键词:微位移驱动执行器回转微角度微角度检测压电电源 龟 俨· 句 ABSTRACT Micr.o-ωntr.olling and p.ositi.oning techn.ology is t.odays w.orld research h.otsp.ot. It is als.o the key t.o Nan.o measurement and pr.ocessing techn.ology. With the devel.opment .of science and techn.ology，the need .of high precisi.on，high res.oluti.on and flexible c.ontr.olled testing and driving system is urgent in electr.onics，.optics， bi.ol.ogy，manufacturing and many .other technical fields. It is used directly .or w.orks with her instruments equipment to c.omple饵 the research and applicati.on .of high precisi.on. These demands have greatly b.o.osted the gr.owth .of displacement drive p.ositi.oning system. In many fields .of Nan.otechn.ol.ogy，it is urge削 need a angular 也 displacement detecti.on and drive p.ositi.oning system which is characteristic ωgre创 trip and high res.oluti.on t.o achieve high precisi.on p.ositi.oning. The subject researches .on angular displacement drive p.ositi.oning techn.ol.ogy. It ‘ studies drive-c.on衍。1 and angle-detecting techn.ology .on base .of the existing r.o阳叩 piez.oelectric micr.o-angle ac阳ators and designs a multi白l?cti.onal driving c.ontr.ol and detecti.on system. This system can pr.ovide drive signals which are different in wavef.orm，frequency and amplitude. These di班erent signals ∞ntr.ol the m.ove