回转式微动压电电动机及其驱动电源的研究-测试计量技术及仪器专业论文.docxVIP

中文摘要中文摘要 中文摘要 中文摘要 微驱动、定位技术是当今世界各国研究的热点问题，是纳米测量及加工技术 中的关键技术之一，而微位移致动器则是微驱动、定位系统中的重要组成部分。 压电陶瓷致动器是目前微位移技术中比较理想的驱动元件，它的出现开创了精度 进入纳米级的新时代。 本文研究的课题是：回转式微动压电电动机及其驱动电源的研究。其主要内 容和创新点包括： l、系统地介绍了压电陶瓷的性能参数、压电元件等内容。 2、着重阐述了回转式微动压电电动机的运动原理、柔性铰链的基本概念、 直圆单轴柔性铰链绕Z轴的转动刚度、总体机械结构设计、驱动电源设计、控制 系统设计以及性能测试实验。结构设计方面，采用压电微驱动器结合柔性铰链的 结构，加大了推力和夹紧力，同时放大了压电晶体的位移，实现了单步微角度回 转运动；根据尺蠖运动(Inchworm motion)原理，采用“推一拉”接力运动原 理，配以适当的四路驱动信号，使压电电动机实现连续平稳的转动。系统控制方 面，通过单片机系统产生四路信号，经驱动电源直流放大后加载到压电陶瓷微位 移器上。控制程序采用C51软件编程，以中断方式实现波形控制。 3、对压电陶瓷驱动器电源的作用原理、设计特点及分类进行了介绍，并给 出了压电陶瓷驱动器的电源设计要求、方法、电路及实验波形以及驱动能力测试 实验数据。该电源放大倍数为63倍，输出电流60mA。同时对压电陶瓷进行的 动态驱动实验表明，在输入三角波、方波等动态信号时，该驱动电源可以很好地 跟随输入波形的变化，实现了输入电压为O～5v时，输出电压在0～280V范围 内连续可调。具有1．575V的分辨率和较为理想的静特性。并且该电源在100KHz 范围内具有良好的频响特性。该电源输出电压稳定，分辨率高，静态纹波低，动 态性能好，同时PA85及其外围电路具有过压、过流、短路保护等功能。其电路 结构简单，可靠性高，具有很高的实用价值。 4、实验结果表明：微角度压电电动机的运动位移是线性的，最小步距优于 3”，在160V的驱动电压下速度达到430．4”／s。 关键词：微角度微定位压电陶瓷驱动电源尺蠖运动 英文摘要ABSTRACT 英文摘要 ABSTRACT Micro·driving and positioning are one of the hottest research topics all over the world and the key of nano—measurement and nano—fabrication．Micro—displacement actuator is the important part ofthe system ofmicro—driving and micro·positioning．At present，piezoelectric ceramic actuator is relatively perfect driving element in micro—displacement technology．Its appearance inaugurates new times ofprecision of nanometer． In this dissertation，study on the rotatory piezoelectric motor with micro-angle and its driving power．The main contents innovative points include： 1．Piezoelectric effect，piezoelectric equation and performance parameter of piezoelectric ceramic ale introduced． 2．The principle ofrotary piezoelectric motor,the basic conception offlexiblejoint， the running inflexibility of straight or round flexible joint,the mechanical structure design，the design of driving power,the controlling system and character testing experiments of piezoelectric micro-angle motor are expatiated in emphasis．In structLtre design,the structure of rotary motor model which adopt