LTPS生产主要工艺设备清单.docVIP

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2019-07-02 发布于江西
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LTPS生产主要工艺设备清单.doc

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序号设备名称阵列工序 1 玻璃拆卸设备 2 玻璃基板清洗机 3 Sputter金属溅射设备 4 PECVD等离子增强化学气相沉积设备 5 ELA镭射退火设备 6 Photo光刻设备 7 DryEtch干法刻蚀设备 8 WetEtch金属湿法刻蚀设备 9 Stripper光阻剥离设备 10 Implanter离子注入设备 11 Aneal退火炉 12 RTA快速退火炉 13 阵列自动测试机 14 激光修复设备 15 自动光学检查机 16 坐标测量仪 17 表面电阻测试仪 18 膜厚量测仪 19 线宽量测仪 20 台阶仪 21 光学显微镜 22 分光仪 23 Amhs系统 CF工序 24 玻璃拆卸设备 25 玻璃基板清洗机 26 Photo光刻设备 27 Coat涂胶设备 28 ITO溅射设备 29 光阻剥离设备 30 激光修复设备 31 在线自动光学检查机 32 宏观缺陷检查机 33 坐标测量仪 34 台阶仪 35 检查机 36 表面电阻测试仪 37 光罩清洗设备 38 分类拣选设备 39 重工设备 40 Amhs系统 Cell工序 41 PI偏贴生产线 42 RUB配向膜摩擦设备 43 ODF液晶滴下设备 44 CLN清洗设备 45 显微镜 46 玻璃基板尘埃检查设备 47 膜厚测定仪 48 配向膜剥离设备 49 预倾角测量设备 50 配向布卷布设备 51 切割机 52 二次切割机 53 偏光板贴附机 54 自动加压除泡机 55 点灯测试机 56 自动传输系统