霍尔相位传感器的研究开发-微电子学与固体电子学专业论文.docx

摘要霍尔传感器是目前使用最广泛的磁传感器之一。它不仅可以用来测量磁场， 摘要 霍尔传感器是目前使用最广泛的磁传感器之一。它不仅可以用来测量磁场， 还可用于测量电流、速度、位置、角度和转速等物理量，在精密测量、工业自动 化控制、汽车电子、家用电器等领域获得广泛应用。本课题是上海汽车工业科技 发展基金会支持项目“相位传感器的研究开发”的一部分，着重探讨在研究开发 霍尔相位传感器组件过程中出现的理论性关键技术。 论文先简要介绍了霍尔效应的基本原理，霍尔元件和霍尔集成电路的发展过 程和近况。 论文对si双极型霍尔开关集成电路的工作原理其中包括稳压电路、放大电路 和触发电路等进行了认真的分析和仿真，重点研究了温度补偿、电阻修调等关键 技术，成功完成了霍尔开关集成电路在工作温度范围内(-40℃——+150℃)的 温度仿真，并完成了高精度si双极型霍尔开关集成电路的版图设计。在这之前 还开展了双极和cMOS专用集成电路的逆向设计训练，对一些双极型集成电路 和CMOS集成电路进行了解剖拍照分析，并成功的完成了CMOS专用集成电路 的逆向设计、制版和流片工作的全过程。 论文介绍了几种基本磁路的设计方法和霍尔相位传感器组件的工作原理。细 致分析了霍尔相位传感器组件的工作原理后，根据霍尔相位传感器的工作要求和 磁路理论，分析了霍尔相位传感器组件适合使用的永磁材料，介绍了在霍尔相位 传感器组件设计中非常重要的B-D曲线。利用ANSYS有限元分析软件建立了霍 尔相位传感器组件的磁路仿真设计方法，以2AV系列霍尔相位传感器组件为实 例来验证。研制出可批量生产的新型高精度Sm2Co．7霍尔相位传感器组件，其特 征参数完全符合要求，并小批量生产，在联合汽车电子有限公司的生产线上通过 了联合汽车电子有限公司的OTS检测。自行设计了高精度的霍尔磁性闸门测试 仪器，对霍尔相位传感器的特征参数进行了检测和计算，为霍尔相位传感器的进 一步研发和生产打下了坚实的基础。 论文提出的磁路仿真设计方法、自行设计的磁性闸门检测设备为霍尔传感器 论文提出的磁路仿真设计方法、自行设计的磁性闸门检测设备为霍尔传感器 组件的设计、优化和批量生产提供了有到的手段。 关键词：霍尔开关集成电路，霍尔效应，霍尔相位传感器，磁传感器 ABSTRACTThe ABSTRACT The Hall sensor is one of the most mature and widely used magnetic sensors．As we all know,it call be used to measure not only magnetic field，but ca／Tent，velocity, position，angle and rotate speed．As a key component，Hall sensors are wide playing role in precisely measure，automotive electronics，industrial control，home electrical products and SO on，The study in this thesis is part of the project“the research and development on automotive phase sensors’’supported by the Science and Technology Fund of Shanghai Automobile Industry．In this thesis，we pay attention to some theoretic key techniques on Hall vane sensors，namely automotive phase sensors． First，Hall effect principle and Hall—effect performance of some semiconductors are introduced here．We also introduce some high—performance Hall elements and some none—plate—like Hall magnetic sensors． Second，the circuit configuration and design principle of Hall IC fabricated in Si bipolar process were considered．Through analyzing and simulation，we understand the basic design t