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;一、吸气材料(吸气剂、消气剂)的定义;; 吸附势能曲线(H2在Ni上) ; 间隙原子扩散势场示意图 ;气体分类;图 面心立方点阵中的间隙;图 体心立方点阵中的间隙;吸气材料气体吸着动力学说明;;定压法原理图; ;用蒸散的方法,把吸气材料沉积在真空件壁上形成一种膜,用以吸附气体的一类吸气剂。
★钡类吸气剂 性能最好并被广泛应用
★主要产品:掺氮吸气剂(叠氮化钡Ba(N3)2 )
低氩吸气剂等。
★优点:吸气速率高,价格便宜
★缺点:吸气量小
高温蒸散造成极间漏电、不能应用于高压管
蒸散后与器件结为一体,器件不可返修
应用范围窄;非蒸散型吸气剂; ; ; ; ;
美国阿贡(Argonne)国家实验室:超级光子源(APS)同步回旋加速器能产生强度高达7GeV的X射线束。为了防止残气分子电离,造成束电流散射:使用160台特殊设计的NEG泵,系统真空度优于10-10Pa。
; ; 谢谢大家!;;PPT模板下载:/moban/ 行业PPT模板:/hangye/
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FIVE;实际应用;;PART
SIX;未来展望;
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