激光辐照短波通截止膜的温升规律和损伤效应研究-光学专业论文.docxVIP

激光辐照下短波通截止膜的温升规律和损伤效应研究摘 激光辐照下短波通截止膜的温升规律和损伤效应研究 摘 要 结合课题研究需要，论文以典型光电装置中的光学系统的拼接棱镜入射面，即短波通 截止膜面，作为研究对象，开展了不同波长、不同工作方式激光辐照短波通截止膜引起的 温升规律和破坏效应的研究。利用ANSYS程序的热分析模块，计算了激光辐照短波通截止 膜的温度场。采用红外热像仪测量温度数据，校正数值模拟计算结果，通过确定综合常数 K，给出了激光辐照薄膜的温升规律，以及激光对薄膜的破坏效应，分析了由温度引起的 热应力。主要研究结果如下： 1．短波通截止膜的破坏特点 结合激光对短波通截止膜温度场的计算，叙述了激光辐照多层薄膜元件产生的温度场 理论。由多层薄膜的驻波场理论，得到温度与驻波场幅度成正比，薄膜首先从温度高的位 置产生破坏。由于薄膜内驻波场幅度不一定在外层薄膜处最大，激光对多层薄膜的破坏并 不一定发生在薄膜表面。因此，多层薄膜的驻波场结构对薄膜的破坏效应产生重要影响。 2．薄膜破坏时间和失效温度的确定 通过开展激光辐照短波通截止膜的失效阈值和破坏效应实验研究，发现在实验中确定 薄膜破坏的有效方法是： (1)通过监测薄膜反射、散射信号幅度的突变，来确定激光辐照过程中薄膜的破坏时间； (2)通过分析红外热像仪测量激光辐照薄膜产生温度的反常变化，如不同时间截面温度 分布出现突然下降，来确定激光破坏薄膜所需要的激光强度、辐照时间和失效温度。 1．激光辐照薄膜元件的温升 以短波通截止膜作为数值模拟的对象，根据多层薄膜的特点，建立了连续激光辐照多 层薄膜元件温度场的物理模型。 利用ANSYS程序的热分析模块，采用薄膜内网格划分小，K。玻璃基体材料内网格划分 大的网格过渡划分方法，在保证计算精度的条件下，减少了计算时间。在假设材料物理参 数不变的条件下，缩小模型，建立了适合连续激光辐照多层薄膜温度场的计算模型。 用红外热像仪测量连续激光辐照薄膜元件温度的实验数据，校正数值模拟计算结果， 确定1．0611m连续激光辐照有全反射铝膜面短波通截止膜和无全反射铝膜面短波通截止膜 产热率方程的综合常数分别为K=1．2、K=I．23，1．315pm连续激光辐照有全反射铝膜面 短波通截止膜产热率方程的综合常数K=0．8，由此得到不同波长连续激光辐照不同薄膜元 件温升的变化规律。 4．脉冲激光辐照薄膜元件的温升和热应力 利用1．06pm连续激光辐照有全反射铝膜面短波通截止膜温度场数值模拟得到的综合 常数K=I．2，计算了脉冲激光辐照有全反射铝膜面短波通截止膜内产生的温度效应。计算 结果表明：在脉冲激光作用下，薄膜内驻波场最大位置不在薄膜表面，而是从K。玻璃基体 激光辐照下短波通截止膜的温升规律和损伤效应研究表面开始的第42层薄膜处。该膜层处对应温度场最高，激光对薄膜的破坏首先从该膜层 激光辐照下短波通截止膜的温升规律和损伤效应研究 表面开始的第42层薄膜处。该膜层处对应温度场最高，激光对薄膜的破坏首先从该膜层 开始。 根据脉冲激光辐照有全反射铝膜面短波通截止膜内产生的温度数据，计算了薄膜内由 温升引起的热应力分布。计算结果表明：脉冲激光作用时间短，热扩散小，薄膜在光斑辐 照范围内热效应明显，而在光斑辐照区域外热效应的影响很小；在光斑区域内，温升引起 的热应力在薄膜厚度方向、径向和环向具有压应力的特征，但在光斑区域外邻近的地方压 应力转换为拉应力。 综上所述，在开展激光辐照短波通截止膜温升规律和破坏效应研究中，采用理论计算 和实验研究相结合的方法，在不同激光功率下得到了薄膜元件的失效阈值和破坏时间，给 出了薄膜元件温升的变化规律。研究结果在激光对典型光电装置辐照效应实验中得到应 用，特别是得到的短波通截止膜破坏阈值参数，对相关课题充分显示激光辐照效应，避免 激光对光电装置的破坏实验提供了重要的依据。研究过程中采用的研究方法和技术路线， 对今后从事相关项目研究具有一定的参考价值。 关键词： 光电装置；薄膜元件；损伤效应：温度场；应力场 激光辐照下短波通截止膜的温升规律和损伤效应研究Ab 激光辐照下短波通截止膜的温升规律和损伤效应研究 Ab stract In accordance with the mentioned background of study contents，incident side of fabricate prism of optical system in a typical opt—electronic was used in experiment and theoretical studies，used different wavelength and different work mode to irradiate Ti02／Si02