两种层状结构光学特性和厚度.PDFVIP

应用简报 玻璃、陶瓷与光学器件 两种层状结构的光学特性和厚度 使用配备 UMA 附件的 Cary 5000 测量折射率和薄膜 厚度 作者 前言 [1] Kozlova N.S., Kozlova A.P., 基于光（紫外到红外）的光学特性的技术广泛使用了多层光学涂层 。要想成功设 Zabelina E.V., Goreeva Zh.A., 计和制造光学涂层，需要获得准确可靠的层状薄膜结构的折射率、吸收系数和厚度 Didenko I.S.1 信息。 1Laboratory “Single crystals 无损检测方法是成功研究薄膜结构特性的首选方法。表征层状薄膜结构的基本方法 and Stock on their Base” NUST “MISiS”, Moscow, 与表征散装材料的光学技术截然不同。通常采用椭圆光度法来表征薄膜的光学特 Russia 性，该方法是一种基于样本反射光偏振态分析的光学技术。现在还有另一种多用途 [2, 3] 无损光学技术可供选择―多角度分光光度法 。 入射偏振光反射率和透射率的光谱和角函数由配备相应附件的分光光度计获得。 但是，光学参数很大程度上取决于 两种结构都采用高频磁控溅射生成。在此方法中，根据基底 • 基底和薄膜的生长条件 透射光的能力来选择要测量的参数：对于透明基底，测量透 射率；对于不透明基底，测量反射率。 • 薄膜的均匀性 为确定第一个样品的厚度 (d) ，测得任意两个不同入射角（非 • 基底的均匀性和 φ ° 偏振光）下的透射光谱，在本例中为垂直入射 1 = 0 以及 • 光学特性[4, 5] φ2 = 20° （图 1）。 我们期望薄膜在整个结构寿命期间保持其均匀性。 本项工作的目的是，采用配备了独有的自动化全能型测量附件 包 (UMA) 的 Agilent Cary 5000 分光光度计测定薄膜的以下参 数：厚度 (d)、折射率 (n) 和消光系数 (k)。 实验部分 配备 UMА 的 Cary 5000 分光光度计可在无人值守的情况下自 动执行以下测量： • 以 0.02 ° 的最小步长间隔测量绝对反射率 R （入射光角度 ° ° 5–85 ）和绝对透射率 T （入射光角度 0–85 ） λ ° λ