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在线检测系统-浙江大学试验室与设备管理处.PDF

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    40   : : : : : : : 2015-04-03         20133 1 2 3 4 5405 6                         Neutral-cluster and Air Ion Spectrometer 1 NAIS * * * * / 0.8nm-2.5 m 10~3600s 1-1011/cm30.8nm-42 m215 4L/min 0.1-3L/min0-400 WIKA MCS-1 00;6L532nm1000Hz 50 J    0  //       2000  /      100  / 1900 / 22-3 1   Email * chenlh@ 1 * wuyy0205@163.com 2 * ceuwj@ 2    F 201    80 m2    6 KW             1.20009 2.

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