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气体传感器及其应用 一、气敏传感器概述  二、半导体气体传感器 三、常见气体传感器及其应用 自动控制排气扇和声光报警电路的设计 具有自动控制排气扇和声光报警功能的报警电路，设计时可根据情况分别对待，有害气体浓度达到0.15%时，排气扇首先自动开启，使有害气体排出，且发光二极管LED2发光。空气洁净后，排气扇自动关闭。只有当有害气体泄漏严重，排气无效，浓度达到0.2%时，报警电路才发出声光报警。 *长江工程职业技术学院自动化教研室 *长江工程职业技术学院自动化教研室 课题 气体传感器的分类及特性 任务目标 ★ 熟悉气体传感器的主要特性； ★ 会分析常见的气体传感器应用电路； ★ 能够完成带有自动控制排气扇和报警功能的电路设计和调试。 我们生活在气体的环境之中，气体与我们的日常生活密切相关。我们对气体的感知是用鼻子这个器官，而气敏传感器其作用就相当于我们的鼻子，可“嗅”出空气中某种特定的气体或判断特定气体的浓度，从而实现对气体成分的检测和监测，以改善人们的生活水平，保障人们的生命安全。 需要检测的气体种类繁多，它们的性质也各不相同，所以不可能用一种方法来检测所有气体。对气体的分析方法也随气体的种类、成分、浓度和用途而异。目前主要应用的气体检测方法有电气法、电化学法和光学法等。 电气法是利用气敏器件（主要是半导体气敏器件）检测气体，是目前应用最为广泛的气体检测方法。 电化学法是利用电化学方法，使用电极与电解液对气体进行检测。 光学法是利用气体的光学折射率或光吸收等特性检测气体。 半导体气体传感器主要是以氧化物半导体为基本材料制成，当半导体气敏元件同气体接触时，气体吸附于元件表面，使得半导体的导电率发生变化，从而检测待测气体的成分及浓度。 半导体气体传感器大体上分为电阻式和非电阻式两种。电阻式半导体气体传感器是用氧化锡、氧化锌等金属氧化物材料制作的敏感元件，利用其阻值的变化来检测气体的浓度。非电阻式半导体气体传感器主要有金属/半导体结型二极管和金属栅的MOS场效应管的传感器，利用它们与气体接触后整流特性或阈值电压的变化来实现对气体的测量。在此只介绍电阻式气体传感器。 1．气敏电阻的工作原理 气敏电阻的材料是金属氧化物如氧化锡、氧化锌等，它们在常温下是绝缘的，制成半导体后却显出气敏特性。通常元件工作在空气中，空气中的氧、二氧化氮这样的氧化性气体——电子接收性气体，接受来自半导体材料的电子，结果使N型半导体材料的载流子数量减少，使表面电导率减小，从而使元件处于高阻状态。一旦元件与被测还原性气体——电子供给性气体（如H2、CO、碳氢化合物和酒类）接触，半导体的载流子增多，使元件电阻减小。 该类气敏元件通常工作在高温状态（200~450℃），目的是为了加速上述的氧化还原反应。例如，用氧化锡制成的气敏元件，在常温下吸附某种气体后，其电导率变化不大，若保持这种气体浓度不变，该元件的电导率随元件本身温度的升高而增加，尤其在100~300℃范围内电导率变化很大，显然半导体电导率的增加是由于多数载流子浓度增加的结果。 由上可知，气敏电阻工作时需要本身的温度比环境温度高很多。因此，气敏电阻结构上有电阻丝加热器。 气敏电阻的基本测量电路 ： 图5-1 气敏元件的测量电路及气敏元件输出电压与温度的关系 2．氧化锡气敏器件 SnO2是一种白色粉末状的金属氧化物，其多结晶体材料具有气敏特性。SnO2气敏器件当前主要有三种类型：烧结型、薄膜型和厚膜型。 （1）烧结型SnO2气敏器件 这种器件是以多孔质陶瓷SnO2为基本材料，添加不同物质，采用传统制陶工艺进行烧结。烧结时在材料中埋入加热电阻丝和测量电极，制成管芯，然后将加热电阻丝和测量电极引线焊在管座上，并将管芯罩覆在不锈钢网中而制成器件。这种器件主要用于检测还原性气体、可燃性气体和液体蒸汽。器件工作时需加热至300℃左右，按其加热方式不同，又分为直热式和旁热式两种气敏器件。 ① 直热式SnO2气敏器件：直热式器件的结构如图5-2所示。器件管芯由三部分组成：SnO2基本材料、加热电阻丝和电极丝。加热电阻丝和电极丝直接埋在SnO2材料内，然后烧结制成。工作时加热电阻丝通电加热，使器件达到工作温度，测量电极丝用于器件电阻值变化的测量。 图5-2 直热式气敏器件结构与符号 这种器件的优点是：制造工艺简单、功耗小、成本低，可在高压回路中使用，可制成价格低廉的可燃气体报警器。 这种器件的缺点是：热容量小，易受环境气流的影响，测量回路和加热回路之间没有隔离，互相影响。 ② 旁热式SnO2气敏器件：旁热式气敏器件如图5-3所示。其管芯增加了一个陶瓷管，在管内放进一个高阻加热丝，管外涂梳状金电极作测量极，在金电极外涂SnO2材料。 图5-3 QM—N5外形和符号 这种结构克服了直热式器件的缺