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AFM 原子力显微镜技术及应用实验报告 原子力显微技术观测薄膜形貌 姓名：吴涵颖 学号： 5404312065 班级：工业工程 122 一、实验目的： Ⅰ、学习和了解 AFM的结构和原理。 Ⅱ、掌握 AFM的操作和调试过程，并以之来观察薄膜表面的形貌。 Ⅲ、学习用计算机软件来处理原始数据图像。 二、实验原理简析： 1. AFM 基本原理 原子力显微镜的工作原理就是将探针装在一弹性微悬臂的一端，微悬臂的另 一端固定，当探针在样品表面扫描时，探针与样品表面原子间的排斥力会使得微 悬臂轻微变形，这样，微悬臂的轻微变形就可以作为探针和样品间排斥力的直接 量度。一束激光经微悬臂的背面反射到光电检测器，可以精确测量微悬臂的微小 变形，这样就实现了通过检测样品与探针之间的原子排斥力来反映样品表面形貌 和其他表面结构。 在原子力显微镜的系统中，可分成三个部分：力检测部分、位置检测部分、 反馈系统。如图一显示。 （1）力检测部分 在原子力显微镜系统中， 所要检测的力是原子与原子之间的 范德华力。使用微悬臂来检测原子之间力的变化量。如图 2 所示，微悬臂通常由 一个一般 100～500 μm长和大约 500nm～5 μm厚的硅片或氮化硅片制成。微悬臂 顶端有一个尖锐针尖，用来检测样品－针尖间的相互作用力。 （2 ）位置检测部分 在原子力显微镜系统中， 当针尖与样品之间有了作用之后， 会使得悬臂摆动，所以当激光照射在微悬臂的末端时，其反射光的位置也会因为 悬臂摆动而有所改变，这就造成偏移量的产生。在整个系统中是依靠激光光斑位 置检测器将偏移量记录下并转换成电的信号，以供 SPM控制器作信号处理。聚焦 到微悬臂上面的激光反射到激光位置检测器，通过对落在检测器四个象限的光强 1 AFM 原子力显微镜技术及应用实验报告 进行计算，可以得到由于表面形貌引起的微悬臂形变量大小，从而得到样品表面 的不同信息。 （3 ）反馈系统 在原子力显微镜系统中， 将信号经由激光检测器取入之后， 在 反馈系统中会将此信号当作反馈信号，作为内部的调整信号，并驱使通常由压电 陶瓷制作的扫描器做适当的移动，以保持样品与针尖保持一定的作用力。 2.AFM 有 三种 不同 的工 作 模式 : 接 触模 式 ( contact mode) 、非 接 触模 式 (noncontact mode) 和共振模式或轻敲模式 (Tapping Mode) 。 （1）接触模式： 从概念上来理解，接触模式是 AFM最直接的成像模式。 AFM在整个扫描成像 过程之中，探针针尖始终与样品表面保持亲密的接触， 而相互作用力是排斥力。 扫 描时，悬臂施加在针尖上的力有可能破坏试样的表面结构，因此力的大小范围在 10 - 10 ～10 - 6 N 。 若样品表面柔嫩而不能承受这样的力，便不宜选用接触模 式对样品表面进行成像。 （2 ）非接触模式 非接触模式探测试样表面时悬臂在距离试样表面上方 5～10 nm 的距离处振 荡。 这时，样品与针尖之间的相互作用由范德华力控制，通常为 10 - 12 N ， 样品不会被破坏， 而且针尖也不会被污染， 特别适合于研究柔嫩物体的表面。 这 种操作模式的不利之处在于要在室温大气环境下实现这种模式十分困难。因为样 品表面不可避免地会积聚薄薄的一层水，它会在样品与针尖之间搭起一小小的毛 细桥，将针尖与表面吸在一起，从而增加尖端对表面的压力。 （3 ）敲击模式 在敲击模式中，一种恒定的驱使力使探针悬臂以一定的频率振动。