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2020-01-19 发布于山东
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MEMS课程设计作业第 PAGE \* Arabic \* MERGEFORMAT 1 页 MEMS课程设计作业（2014-2015学年）题目：慢健康管理运动与体温MEMS纽扣设计姓名：学号： 3～4人一个小组时间：1月8日之前，电子版课程设计交到课代表张佳雯（电子邮箱： HYPERLINK mailtobuaa.edu.cnbuaa.edu.cn）处。以下提纲供参考第一部分：立项分析（主要完成人：）（1000～3000字）开发的社会意义和经济价值、市场接受度调研、市场容量分析、现有类似产品的分析。第二部分：指标确立（主要完成人：）（1000～3000字）分析温度测量和运动加速度测量的指标要求，写出指标量化的确立理由第三部分：总体设计（主要完成人：）（300~600字）描述基本测量工作原理、结构和工艺的选择及其理由第四部分：结构方案设计（主要完成人：）（1000～3000字）列出传感器的输入输出的静态和动态关系，设计出传感器的敏感结构形状和具体尺寸，采用solidwork软件画出结构的三维示意图。第五部分：工艺设计（主要完成人：）（1000～3000字）设计出工艺的详细步骤，绘制出每一步工艺的二维截面图以及给出工艺详细描述（分析温度兼容性、腐蚀兼容性），采用Ledit、CAD或其他二维图形制软件，绘制出版图第六部分总结(简述所做的工作，给出结论，即设计指标与要求指标是否吻合，工艺可行性分析，成本控制等，300-500字）