四氯化硅氢化工艺探究进展.pdfVIP

四氯化硅氢化工艺研究进展 1 刘挥彬郭树虎姜利霞(中国恩菲工程技术有限公司， 北京 00038) 摘要：在西门子法生产多晶硅过程中会产生sicl。副产物，为了降低生产的成本，同时最大限度的减少对环境的破坏，综合利用这一副 产物成为首要的问题。而SiCl。加氢氢化为处理这一副产物提供了最有效的手段。针对此，笔者介绍了热氢化、冷氢化、氯氢化和等离子 氢化四种工艺的技术特点和发展现状，并对冷氢化工艺的发展前景进行了展望。 关键词：副产物；闭式循环；三氯氢硅；氢化 O引言 抗冲击性能和耐酸碱腐蚀能力也大大提高，使用寿命同时 延长。 改良西门子法是生产太阳能行业原材料多晶硅的主要生 水岛等对SiCl。的加氢氢化设备进行了优化提升，该方法 产工艺。该工艺每产1t多晶硅就会产生15～20t的SiCl。副产