AD838操作及设定指导手册课件.pptVIP

Prepare by :ASM SUZ 版本号：ZYM V1.0 前言 此调整部分参考控制软件为V9.07.22版本，如现场机器与手册中显示的不一致属正常现象，可参考实际的软件情况进行调整 手册中的内容涉及出现频率较高或者需要特别注意的设定和调整 Wafer table Wafer table Wafer table最常见的问题是无法自动打开或者关闭芯片扩张器，此部分需进行硬件的调整和软件的检测 Wafer table Wafer table Wafer table Wafer table Wafer table Wafer table LF jam at output LF jam LF jam at output and elevator ，框架没有完全送出报警有两种情况 1. 框架已经送出轨道 2. 框架还有一部分在轨道上 LF jam 框架已经送出轨道情况下的调整方法 LF jam LF jam 框架还有一部分在轨道上的调整方法 LF orientation LF orientation AD838 框架防反采用硬件方式，以检测框架上预先定义的位置是否有足够的反射光线作为判断依据，如框架上指定的位置是孔则反射光较弱，如果框架上指定的位置是铜材质则反射光线