适用高频SAW射频标签的谐振器与天线设计.pdfVIP

摘要 声表面波射频标签(SAW-RFID)应用很广泛，在现代的电子学、声学、半导体微 电子工艺技术和雷达信号处理技术等一些新成就和新领域当中都已应用，声表面波射频 标签已是现在社会自动识别技术领域和息存储传输技术领域的重要器件。在众多的射频 独特的优势。利用声表面波(SAW)技术的主要优点有很灶的抗电磁f扰能力，并且L叮使 用在金属和液体产品上；具有抗高温、抗辐射等独特优点，可以使声表面波射频标签应 用在食品或药品等需要高能量X．射线或伽马射线杀菌产品上；因为SAW射频标签是无 源器件，所以不使用任何外界的电源，而且同时对阅读器的辐射功率要求低，SAW射 频标签所需的阅读器辐射功率仅仅是传统IC标签的1／100；并且具有识别和传感的双重 功能等优势。 本文内容包括SAW-RFID标签的发展历程，标签的组成和工作原理，制作了应用于 声表面波射频标签的IDT／ZnO／金属层／金刚石多层膜结构单端口谐振器。声表面波谐 振器有比较窄的带宽，高Q值和低插入损耗，因此以声表面波谐振器为核心的标签有噪 声小，插入损耗小的优点。采用半导体参数仪对单端口谐振器的静态电容和端口电阻两 天线进行匹配，并且设计了弯折偶极子天线，并与传统天线进行了对比，其增益和有效带 了6．6倍，SAW．RFID