带空气轴承的PIglideRM转台-PhysikInstrumente.PDF

带空气轴承的PIglideRM转台 无摩擦，适用于分度、定位、扫描、测量技术 A-62x  无尘室兼容  运动平台直径为50毫米至300毫米  负载容量达4170牛  偏心度和平面度 200纳米  可水平或垂直安装 产品概述 PIglide RM系列电机驱动转台设计实现高准确性、精度和刚性以及便捷使用，可在任意方向上安装。 多种选项可组合在一起创建一种非常适用于点对点分度或恒速扫描的解决方案。 RM平台提供优异的运动精度、平面度和摆动性能。由于无摩擦、无需维护或润滑，其非常适用于在无尘室中使用。 三相力矩电机  无刷  无槽  低齿槽转矩 绝对编码器（可选配） 绝对编码器提供明确的位置信息，帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位，提高了操作过程中的效率和安 全性。 附件和可选配件  编码器  可选配偏摆台  定制安装法兰  真空接头  滑环  PIglide过滤器和空气预处理器  单轴或多轴运动控制器和伺服驱动器  花岗岩底座板和隔振系统 11.03.2019 应用领域 光学对准、计量、检验系统、校准、扫描。 规格 运动 A-621.025 A-623.025 A-623.050 A-624.050 A-627.075 单位 公差 无限， 无限， 无限， 无限， 无限， 行程 360° 360° 360° 360° 360° 运动平台直径 50 100 100 150 300 毫米 轴颈长度 25 25 50 50 75 毫米 偏心度(1) 300 175 175 100 75 纳米 最大 平面度(1) 100 75 75 50 40 纳米 最大 (1) 摆动 5 3 3 2 1 μrad 最大 机械特性 A-621.025 A-623.025 A-623.050 A-624.050 A-627.075 单位 公差 负载能力，轴向 134 536 536 1206 4244 牛 最大