用于三维测量的双路点衍射干涉系统.pdfVIP

第３８卷　第９期 仪 器 仪 表 学 报 Ｖｏｌ３８Ｎｏ９ ２０１７年９月 ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＳｃｉｅｎｔｉｆｉｃＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔ Ｓｅｐ．２０１７ 用于三维测量的双路点衍射干涉系统 １，２ １ １ １ １ 王道档 ，王志超 ，赵　军 ，王　朝 ，孔　明 （１．中国计量大学计量测试工程学院　杭州　３１００１８；２．浙江大学电气工程学院　杭州　３１００２７） 摘　要：针对在仅有一个光纤对的单路点衍射三维测量系统中，存在平行于条纹的横向方向上测量精度低的问题，提出了用于 三维测量的双路点衍射干涉系统。分析了点衍射波前误差、测量探头结构布局以及三维迭代重构算法对于三维测量精度的影 响，在此基础上确定点衍射源结构以及探头结构布局等最优系统参数。实验结果显示，单路点衍射干涉三维测量系统在ｘｙ方 向的精度分别为亚微米量级和微米量级，而双路点衍射干涉仪系统可在三维方向上同时达到亚微米量级，验证了所提出的双路 点衍射干涉系统方案的可行性和准确性。所提出的双路点衍射干涉系统有效的实现高精度三维测量，为无导轨三维位移和尺 寸等测量提供了一种可行方法。 关键词：三维测量；双路点衍射干涉系统；亚微米孔径光纤；精度；点衍射波前 中图分类号：ＴＨ７４１　　　文献标识码：Ａ　　国家标准学科分类代码：４６０．４０ Ｄｕａｌｐａｔｈｐｏｉｎｔｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅｓｙｓｔｅｍｆｏｒ ｔｈｒｅｅｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ １，２ １ １ １ １ ＷａｎｇＤａｏｄａｎｇ ，ＷａｎｇＺｈｉｃｈａｏ，ＺｈａｏＪｕｎ，ＷａｎｇＣｈａｏ，ＫｏｎｇＭｉｎｇ （１．ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＭｅｔｒｏｌｏｇｙａｎｄＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＣｈｉｎａＪｉｌｉａｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｈａｎｇｚｈｏｕ３１００１８，Ｃｈｉｎａ； ２．ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＥｌｅｃｔｒｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＺｈｅｊｉａｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｈａｎｇｚｈｏｕ３１００２７，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎｔｈｅｓｉｎｇｌｅｐａｔｈｐｏｉｎｔｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎｔｈｒｅｅｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓｙｓｔｅｍｗｉｔｈｏｎｌｙｏｎｅｆｉｂｅｒｐａｉｒ，ｔｈｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔａｃｃｕｒａｃｙ ｉｎｔｈｅｌａｔｅｒａｌｄｉｒｅｃｔｉｏｎｐａｒａｌｌｅｌｔｏｔｈｅｆｒｉｎｇｌｅｄｉｒｅｃｔｉｏｎｉｓｐｏｏｒ．Ｔｏｓｏｌｖｅｔｈｉｓｐｒｏｂｌｅｍ，ａｄｕａｌｐａｔｈｐｏｉｎｔｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅｓｙｓｔｅｍｉｓ ｐｒｏｐｏｓｅｄｔｏｅｎｈａｎｃｅｔｈｅａｃｃｕｒａｔｅｔｈｒｅｅｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｉｎｔｈｉｓｓｔｕｄｙ．Ｔｈｅｉｎｆｌｕｅｎｃｅｏｆｐｏｉｎｔｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎｗａｖｅｆｒｏｎｔｅｒｒｏｒ ， ｓｔｒｕｃｔｕｒａｌｌａｙｏｕｔｏｆｍｅａｓｕｒｉｎｇｐｒｏｂｅａｎｄｔｈｒｅｅｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌｉｔｅｒａｔｉｖｅｒｅｃｏｎｓｔｒｕｃｔｉｏｎａｌｇｏｒｉｔｈｍｏｎｔｈｅｔｈｒｅｅｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ ａｃｃｕｒａｃｙｉｓａｎａｌｙｚｅｄ．Ｂａｓｅｄｏｎｔｈｅａｎａｌｙｓｉｓ，ｔｈｅｏｐｔｉｍａｌｓｙｓｔｅｍｐａｒａｍｅｔｅｒｓ（ｅ．ｇ．，ｐｏｉｎｔｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎｓｏｕｒｃｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅａｎｄｓｔｒｕｃｔｕｒａｌ ｌａｙｏｕｔｏｆｐｒｏｂｅ）ａｒｅｄｅｔｅ