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第 卷 第 期 光学 精密工程
１４ ３
Ｖｏｌ．１４ Ｎｏ．３
Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ
年 月 ｐ ｇ ｇ
２００６ ６ Ｊｕｎ．２００６
文章编号 （ ）
１００４９２４Ｘ２００６０３０４３９０４
微型压电陶瓷棒角速率陀螺设计
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刘武发 ，龚振邦 ，蒋 蓁
（ 郑州大学 机械工程学院，河南 郑州 ； 上海大学 机电与自动化学院，上海 ）
１． ４５０００２ ２． ２０００７２
摘要：研制了基于微型压电陶瓷棒结构代替双敏感梁结构及压电陶瓷片的微型角速率陀螺，并设计了相敏检波电路。首
先采用易于加工成高精度的微型陶瓷棒作为敏感体，在其上印刷成六个带状电极并予以极化构成三副电极对，然后设计
了封装及相敏检波电路，从而有效地减小了敏感结构的尺寸，提高了其加工精度，实现了角速率陀螺微型化。标定结果
表明，该角速率陀螺线性度好，相关系数为 ０．９９９６；精度高，标准误差为 ０．００３６。
关 键 词：微型压电陶瓷棒；角速率陀螺；相敏检波电路；标定
中图分类号： 文献标识码：
Ｕ６６６．１２３ Ａ
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