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32 10 Vol ． 32 ，No ． 10
第 卷 第 期 纺 织 学 报
20 11 10 Journal of Textile Research Oct ． ，20 11
年 月
文章编号:0253 -972 1 (20 11)10 -003 1-06
溅射功率对沉积纳米TiO2 织物光催化性能的影响
， ，
徐 阳 魏取福 邓炳耀
( ( ) ， 2 14 122 )
生态纺织 江南大学 教育部重点实验室 江苏无锡
(TiO ) 。 X
摘 要 室温条件下采用直流磁控反应溅射技术在涤纶纺黏非织造织物表面生长二氧化钛 2 薄膜 采用
、X TiO
射线光电子能谱仪 射线衍射仪和原子力显微镜对不同溅射功率条件下所制备 2 薄膜的结构和表面形貌进行
， TiO 。 : ，
表征 研究溅射功率对薄膜沉积速率以及沉积纳米 2 织物光催化性能的影响 实验表明 在一定范围内 溅射
; ， ， 、 ，
功率对沉积薄膜的化学结构影响不大 溅射功率增加 薄膜的沉积速率和溅射效率提高 薄膜均匀性 致密性增加
TiO ， ， ，
沉积纳米 2 织物的光催化性能提高 但过高的溅射功率使靶材出现过温 不仅使薄膜沉积速率降低 均匀性下
， 。
降 而且易损伤靶材
; ; TiO ; ; ;
关键词 直流反应磁控溅射 功率 纳米 2 涤纶 纺黏非织造织物 光催化
中图分类号:TS 174 文献标志码:A
Effects of sputtering power on photocatalytic properties of
TiO2 deposited fabrics
XU Yang ，WEI Qufu ，DENG Bingyao
(Key Laboratory of Eco-Textiles (Jiangnan University )，M inistry of Education ，Wuxi ，Jiangsu 2 14 122 ，China)
Abstract Nanoscale titaniu
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