项目名称山东大学青岛文化遗产研究院高分辨扫描电镜采购项目.doc

1、项目名称：山东大学（青岛）文化遗产研究院高分辨扫描电镜采购项目项目 2、项目编号：HYHAQD2019-0077 3、技术指标： 采购人要求 设备名称 配置序号 配置名称 详细技术参数要求 数量 高分辨扫描电镜（一套） 1 肖特基场发射电子枪 1.1发射源：高分辨肖特基场发射电子枪。 1.2加速电压：200V – 30kV。 1.3放大倍数：6× - 2,500,000×。 1.4电镜内设计有压差真空系统，保护低真空/环境真空下电子枪，延长寿命。 1.5最大电子束束流：≥200nA并连续可调，保证能谱高效工作。 2 真空系统 2.1 抽真空系统：1个250 l/s涡轮分子泵+1个机械泵+2个离子泵 2.2 集成的离子泵备用电池（用于意外断电保护） 2.2 高真空模式：＜6×10-4 Pa （测试导电样品或喷金处理样品） 2.3 低真空模式：10 – 200 Pa （直接测试不导电样品） 2.4 环境真空模式：10 – 4000 Pa （测试含水分样品） 2.5 高真空模式下的换样时间：≤3.5min 2.6 环境真空模式下的换样时间：≤4.5min 3 探测器 3.1 独立的高真空专用探测器，分辨率指标 3.2 高真空分辨率30 kV下≤1.0 nm (二次电子) 3.3 高真空分辨率30 kV下≤2.5 nm (背散射电子) 3.4 独立的低真空专用探测器 3.5 低真空分辨率30 kV下≤1.3 nm (二次电子) 3.6 低真空分辨率30 kV下≤2.5 nm (背散射电子) 3.7 独立环境真空专用探测器 *3.8 环境真空分辨率30 kV下≤1.3 nm (二次电子) 4 样品室 4.1 样品室内宽≥340mm 4.2 分析工作距离≥10 mm 4.3 样品室红外CCD相机：1个 4.4 最多可升级12个探测器或附件接口 4.5 装有样品导航相机 *4.6 等离子体清洗 5 样品台 5.1 样品台类型：五轴全电动 5.2 行程：X≥110 mm，Y≥110 mm Z≥65 mm， 5.4 旋转R=n×360o，倾斜T=-15o/+90o 5.3 多功能样品台，存放标准样品台 (?12 mm)越多越好，样品台最大承重≥2kg 5.4 样品最大安全高度≥85mm 5.5 样品台具有接触报警与自停功能 6 图像处理及系统 *6.1 单张图片输出最大32K×24K像素（非拼接），可保存TIFF/BMP/JPEG格式 6.2 操作界面既可单窗口又可四窗口图像显示，驻留时间25ns-25ms/pixel 6.3 实时或静态信号按彩色或按灰度等级混合, 256 帧平均或积分, 数字动画记录，直方图及图像测量软件 6.4 智能扫描技术和图像导航软件 6.5 具有多种自动控制软件功能：电子枪启动、对中、偏压调整，镜头参数控制、聚焦、对比度/亮度、扫描旋转、图像混合、居中等 6.6 大尺寸图像合成系统 6.7 扫描功能编辑脚本 6.8能跨行扫描，降低电子溢出效应影响，减少荷电效应。 7 循环冷却 7.1 空气压缩机 7.2 循环水冷机 8 温控台 8.1 软件控制的帕尔贴冷台，温度范围-20到60℃； 8.2 软件可同时控制温度和湿度，模拟环境。 9 能谱仪 9.1 SDD电制冷高效高分辨能谱仪探测器，无需液氮冷却 9.2 元素分析范围: Be ~Am 9.3. 探测器晶体面积: ≥60mm2 9.4 分辨率: 优于129 eV， Mn Ka 9.5 全谱图像采集分析软件：一次使用样品，即可得到采集区域每个像素点形貌和成分数据，无需二次利用样品。在全谱图像上可完成任意点、线、面、不规则图形中的元素定性和定量分析。 技术指标仅供参考，具体技术指标以发售的竞争性磋商文件为准