特种气体在电子行业中的应用-气体分离设备.PDF

第 27卷第 2 期 低 温 与 特 气 Vol27 ,No2 2009年 4 月 Low Temp eratu re and Sp ecialty Gases Ap r, 2009 　 ·综述评论 · 特种气体在电子行业中的应用① 李东升 (上海正帆超净技术有限公司 ,上海 闵行 春中路 56号 　201108) 摘要 :论述了特种气体在集成电路 、太阳能电池 、化合物半导体 、液晶显示器和光纤预制棒等电子行业中的应用 ,并 就其使用安全提出了建议 。 关键词 :特种气体 ; 电子 ;半导体 ;应用 ;安全 中图分类号 : TQ 117 文献标识码 : A 文章编号 :(2009) 02 000 104 The A pplica tion of Spec ia lty Ga ses in E lectron ic s Indu str ies L I Dongsheng ( Shanghai GenTech UHP Co. , L td. , 56 Chunzhong Road, Shanghai 201108, Ch ina) A b stract: Th is article introduces the app lication of sp ecialty gase s in electron ic s indu stries, such a s in tegrated circu it, so lar cell, compound sem iconductor, TFTLCD and op tical fiber p erform. Safety recomm endation s are also given ou t during u sage. Key W ords: sp ecialty gas; electron ics; sem iconductor; app lication; safety 0　引　言 试 /拣选 、装配与封装 、最终测试等五个大的制造 阶段 。这五个阶段是独立的 , 在半导体公司内均具 ( 微电子从 20世纪 40年代末的第一只晶体管 锗 有大型基础设施 , 并且有提供专用化学材料和设备 合金管) 问世 , 至 50 年代中期出现了硅平面工艺 , 的工业支撑网。仅在独立阶段运营的公司 (像仅 此工艺不仅成为硅晶体管的基本制造工艺 , 也使得将 ) 多个分立晶体管制造在同一硅片上的集成电路成为可 制造芯片的芯片公司 , 必须满足业界标准以确保 能 , 随着制造工艺水平的不断成熟 , 使微电子从单只 最终微芯片满足性能目标 。 晶体管发展到今天的超大规模集成电路。 本征半导体是化学成分纯净 ( 9999999% ) 的半导体单晶体 , 须在单晶炉中提炼得到 。在本征 半导体中人为掺入某些微量元素作为杂质 , 称为杂 质半导体 。在提炼单晶的过程中一起完成 。掺杂是 为了显著改变半导体中的自由电子浓度或空穴浓