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第四章：压力传感器 4.1 压力的概念及单位 垂直作用在物体表面上的力叫做压力。把物体的 单位面积上受到的压力叫做压强。 4.2 汽车用压力传感器种类与用途 1、真空开关 ⑴、作用 检测空气滤清器是否 堵塞。 ⑵、原理 A腔与B腔之间会产生 压力差，利用膜片向负 压侧运动使笛簧开关动 作。 ⑶、结构 ⑷、输出特性 2、检测堵塞的连杆式传感器 3、油压开关 检测发动机有无油压。 （3）输出特性 4、油压传感器 用于带油压助力装置的制动系统的油压控制，可 检测出储压器的压力，输出油泵的闭合或断开信号 以及油压的异常报警。 5、绝对压力型传感器 主要用于主动型悬架 系统的油压检测。 （4）输出特性 5、相对压力型高压传感器(丰田皇冠轿车) （4）安装位置 7、半导体压力传感器 绝对压力传感器的结构实物图片 ⑸、压力传感器与ECU的连接 PIM进气歧管压力 信号 ⑹、检测 将万用表、手动真空泵按图示与传感器相连，在 闭合点火开关（发动机停止状态）时测量计算机一 侧的电压。在手动泵压力为2.7×104Pa情况下， 其端电压应在4.7～5.3V的范围内。 8、真空传感器 ⑵、结构： 电路板 差动变压器 铁心 波纹管 膜片 弹簧 ⑶、工作过程 压力变化→铁心的移动→电压变化。 ⑷、差动变压器 （5）检测 将万用表笔分别插入插座中，测量输出电压。 测量步骤为：在不动摇插座的情况下闭合点火开 关；将万用表笔与E～Vs插座接触；在开放真空管道 加上大气压的情况下，电压档指示约为1.5V；在用嘴 巴对真空管道吸气的情况下，表针从电压档的1.5V起 向降低方向摆动；怠速时，表针指示约为0.4V，当转 速升高时，此值也升高。 4.3 半导体进气压力传感器 体积小、精度高、成本低、而且响应重复性及 耐振性能都非常好。 1、传感器结构 ⑴、硅片 硅片中央部分为用 腐蚀法形成的膜片， 在压力作用下，膜片 会产生机械应变。在 硅膜片的四周上，采 用微加工技术及台面 扩散技术，沿轴方向 形成四个测量电阻， 他们之间按惠斯顿电 桥法在硅片内部形成。 ⑵、硅杯 以便吸收因底座材质与硅材料的热膨胀系数之差 所造成的加在膜片上的热应力。 ⑶、底座和盖子 作用：形成标准压力腔，并对硅片及内部组成 件起机械保护作用。 2、工作原理 半导体压力传感器是利用半导体的压阻效应制成 的，其工作原理是将压力变换成电信号，即： ①、压力加到膜片上，膜片上产生应力； ②、随膜片应力的状况测量电阻的阻值发生变化； ③、将一定的电压或电流输入到惠斯顿电桥的输入 端时，电阻值的平衡被打破，在电桥的输出端就可 以得到电压或电流的输出变化值。 一般认为：硅单晶对外部的应力呈现弹性特性， 其强度足以与钢材媲美。硅膜片的厚度与强度的关 系，可以根据式(4.3-1)、式(4.3-4)及硅的屈服应 力求出。设屈服应力σmax为392MPa(4000kgf/cm2)， 根据式(4.3-1)可以求出：直径为2mm厚为40um的 硅膜片可能承受的最大压力Pmax为837kPa. 本节介绍的压力传感器的硅膜片的破坏强度约为 4.4MPa(45kgf／cm2)，即实测值比计算值要高出许 多，分析其原因，可以认为，采用化学腐蚀法加工 膜片时，因为周围出现了微小塌边，缓和了应力集 中于周围。 3、压力传感器的额定值与特性 额定压力为203KPa（2个大气压），过载 压力是在不影响各项特性的范围里可以加 上的最大压力值。其为额定压力的1.5倍， 为304KPa（3个大气压）。 ⑵、输出电压特性 ①、输出电压： 在加上电压VE与压力时桥 式电路输出端上的电压。 ②、偏置电压： 外加压力为0Pa时的输出电 压V0值，也称其为桥不平衡 零点电压； ③、控制电压： 传感器上加上额定压力的输 出电压再减去上述偏置电压， 它表明了压力传感器的灵敏 度。 输出电压－压力特性曲线 ⑶、精度与温度特性 将半导体压力 传感器作为高精 度传感器使用时 ，就需要进行温 度补偿、灵敏度 调整以及偏置电 压的零点调整。 4、半导体压力传感器用作进气压力传感器 ⑶、温度补偿 随着温度的升高输 出电压下降，因此就 要进行控制，以保证 在规定的温度范围内 输出电压为一定值。 对温度补偿特性的要求就是修正偏置电压随温度的 变化以及控制电压随温度的变化。 偏置电压：RP，与R相反 控制电压：Rf，正温度系数 4.4 集成电路型（IC）大气压传感器 这种传感器是利用半导体的IC技术与 微加工技术，在一块半导体基片上形成 压力传感器，温度补偿电路和放大电路。 ⑴、压力检测部分的构成 （2）电路的特性 压力传感器的主要特性： ①、灵敏度 ②、偏置电压; ③、灵敏度的温度补偿 ④、偏置电压的温度特性 IC大气压