第五章传感器技术及械量检测.pptVIP

磁调制式磁头的饱和铁心上有两个线圈匝数不等、磁通方向相反的励磁绕组及两个串联的拾磁(输出)绕组。在通以适当强度的频率为5kHz或25kHz的励磁电流后，铁心产生周期性正反方向饱和磁通，通过铁心对磁尺上的信号磁通进行调制，在拾磁绕组中将产生具有饱和磁通二次谐波频率的感应电势E。 但是单个磁头输出信号小、抗干扰性差。实际使用时，将几十个磁头以一定方式联接起来，组成多间隙磁头。为了辨别磁头在磁性标尺上的移动方向，同时为了满足相位测量的要求，通常采用间距为(m+ )λ的两组磁头。两组磁头输出的载频相位差为90.。 磁头同感应同步器一样，其检测电路分为振幅检测和相位检测。目前通常使用于机械位移的测量。 (四)光栅位移检测装置 1．光栅检测工作原理 为了叙述简单方便起见，下面仅以常用的透射直线光栅为例。 光栅位置检测装置由光源、长光、短光栅、光电元件等组成。如图所示，即为光栅的工作原理图。长光栅G1固定在机床固定部件上，长度相当于工作台移动的全行程，又称为标尺光栅。短光栅G2装在机床的活动部件上，称为指示光栅。标尺光栅和指示光栅都是由窄矩形不透明的线纹和与其等宽的透明间隔所组成的。 指示光栅沿着与线纹相垂直的方向移动时，光源通过标尺光栅和指示光栅再由物镜聚焦射到光电元件上。当指示光栅的线纹与标尺光栅的透明间隔完全重合时，光电元件接受到光最少，理论上等于零；当指示光栅的线纹部分与标尺光栅的线纹部分完全重迭时，光电元件接受的光 光栅的工作原理 最多，因此当指示光栅与标尺光栅相对连续运动时，光电元件所感应出来的光电流变化也是连续的，而且近似于正弦波形。如图所示。 光电流波形 莫尔条纹示意图 当指示光栅的线纹与标尺光栅的线纹保持一定间隙、重迭在一起，并在其自身平面内转一很小角度时，两块光栅之间的线纹就会相交，这些交点组成了一条条平行的黑色条纹，该条纹即为“莫尔条纹”。莫尔条纹沿着几乎与光栅线纹垂直的方向排列，即是与两片光栅线纹夹角的平分线相垂直的方向。 莫尔条纹的特点： 1)放大作用。 设：W为条纹宽度；α为栅距；θ为光栅线纹间的夹角，则它们间关系为 由于 θ 很小，所以上式可近似写成 若α=0.01mm，把“莫尔条纹”的宽度调成 l0 mm时，其放大倍率相当于1000倍，这就是说，利用光的干涉现象就能把光栅的栅距放大1000倍，这样就大大减轻了电子线路方面放大的负担，也无须复杂的光学系统，这是光栅技术的一个重要特点。 2)起平均误差的作用。 “莫尔条纹”是由一系列刻线的交点组成的，它反映了形成条纹的光栅刻线的平均位置，对各栅距误差起了平均作用，减弱了光栅制造中的局部误差和短周期误差对检测精度的影响。 3)“莫尔条纹”的移动与栅距间的移动成比例。当光栅移动一个栅距时，“莫尔条纹” 相应而准确地移动一条(W)；若往相反方向移动时，条纹也往相反方向移动。所以，“莫尔条纹”移动规律为： 若标尺光栅不动，而将指示光栅按顺时针方向转一个很小的角度(设该角度为—θ) 后，并使指示光栅向右移动，则“莫尔条纹”向下移动；反之，当指示光栅向左移动时，则条纹向上移动，如图5—37a所示；如果将指示光栅按逆时针方向转一角度(+θ)，当指示光栅向右移动时(如图5—39所示)，则条纹向上移动；当指示光栅向左移动时，则条纹向下移动。 光学系统方框图 2．光栅的分类及特点 (1)光栅的分类 按检测位移性质可分为： 1)直线式光栅。为测量直线位移的光栅。 2)回转式光栅。为测量角度的光栅。 按制造光栅的材料可分为：玻璃光栅和金属光栅。 按光源照射方法可分为： 1)透射光栅。在玻璃的表面上制成透明与不透明间隔相等的线纹。 2)反射光栅。在金属的镜面上制成全反射与漫反射间隔相等的条纹。 (2)光栅的特点 1)玻璃透射光栅 在玻璃表面感光材料涂层上(如超微粒明胶)制成光栅线纹。如图5—4l所示。 特点： ① 光源可以采用垂直入射光，光电元件能直接接受，因此信号幅值比较大，信噪比好，光电转换器(读数头)的结构简单。 ② 同时透射光栅每毫米的线纹数多。一般常用的黑白光栅(即栅线与线隙是黑白相间的)做到每毫米100条线纹并不困难。这样，由光栅本身就已细分到0.01mm值．从而可以减轻电子线路的负担。如每毫米100线光栅，通过电子线路的十倍频，则其最小读数值为1μm。 ③ 长度不能做的太长，目前达到2m左右。 透明光栅 2)金属反射光栅 在钢尺或不锈钢带的镜面上用照相腐蚀工艺制造光栅；也有用钻石刀在镜面上直接刻制。