表面形貌测量仪技术参数-武汉理工大学信息公开.DOCVIP

表面形貌测量仪技术参数 设备用途说明 适用于各种机加工（如车、铣、钻、刨、镗、磨）金属表面粗糙度测量与评定；石材、塑料、纸张、木材等非金属表面的形貌测量与评定； 球面、非球面、自由曲面、结构表面等表面形貌的测量与评定；台阶、沟槽高度的测量及工件尺寸的比较测量。具有一定光反射率的非金属材料工件的表面形貌测量与评定；MEMS器件、集成电路、膜厚、刻线深度的测量与评定。 数量：1台 交货方式与地点：武汉理工大学 交货日期：合同生效后120天 设备工作环境： 环境温度：0～45°C 相对湿度：35°C时，≤80% 主要设备技术要求及参数 测量方式: 二维、三维轮廓测量；接触/非接触式测量 测量原理: 激光干涉位移测量，扫描白光干涉测量 技术指标: 6.1 激光干涉接触式表面测量 针尖端半径：≤2μm 垂直测量范围（z）：0~5mm 垂直分辨率（z）：5nm（全量程） 水平测量范围（x,y）：50mm×50mm 水平采样最小间隔：0.2μm 粗糙度测量最大误差：≤5％ 6.2 白光干涉表面测量 垂直测量范围：0~40μm 垂直分辨率（z）：5nm 横向测量范围：0.3mm×0.2mm 横向分辨率：1μm 放大倍数：4~40X 6.3 软件主要功能： 虚拟仪器操作 滤波选择：最小二乘方法、算术平均中线方法、多项式方法、高斯方法。 评定参数： GB/T3505-2000的二维