三极性静电吸附阵列的结构优化及分析.pdfVIP

　　　　　　　 　２０１７年７月 第３２卷 第４期 　·６６· ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＬＩＧＨＴＩＮＤＵＳＴＲＹ　Ｖｏｌ．３２Ｎｏ．４Ｊｕｌｙ２０１７ 引用格式：过金超，吕晨生，李洪涛，等．三极性静电吸附阵列的结构优化及分析［Ｊ］．轻工学 报，２０１７，３２（４）：６６－７２． 中图分类号：ＴＰ２４２　　文献标识码：Ａ　　 ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．２０９６－１５５３．２０１７．４．０１０ 文章编号：２０９６－１５５３（２０１７）０４－００６６－０７ 三极性静电吸附阵列的结构优化及分析 Ｏｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎａｎｄａｎａｌｙｓｉｓｏｆｔｈｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅｏｆｔｒｉｐｏｌａｒｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃａｄｈｅｓｉｏｎａｒｒａｙ １ １ ２ ３ 过金超 ，吕晨生 ，李洪涛 ，曹宏 １ １ ２ ３ ＧＵＯＪｉｎｃｈａｏ，ＬＹＵＣｈｅｎｓｈｅｎｇ，ＬＩＨｏｎｇｔａｏ，ＣＡＯＨｏｎｇ １．郑州轻工业学院 电气信息工程学院，河南 郑州４５０００２； ２．东方电子集团有限公司，山东 烟台２６４０００； ３．河南森源电气股份有限公司，河南长葛４６１５００ １．ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＥｌｅｃｔｒｉｃａｎｄＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＺｈｅｎｇｚｈｏｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＬｉｇｈｔＩｎｄｕｓｔｒｙ， Ｚｈｅｎｇｚｈｏｕ４５０００２，Ｃｈｉｎａ； ２．ＤｏｎｇｆａｎｇＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓＣｏ．，Ｌｔｄ．，Ｙａｎｔａｉ２６４０００，Ｃｈｉｎａ； 关键词： ３．Ｈｅ′ｎａｎＳｅｎｙｕａｎＥｌｅｃｔｒｉｃＣｏ．，Ｌｔｄ．，Ｃｈａｎｇｇｅ４６１５００，Ｃｈｉｎａ 静电吸附；三极性电 极；绝缘层；有限元 摘要：针对现有静电吸附方式吸附力不足问题，根据静电吸附阵列电场的分布 分析 特性构建了三极性静电吸附模型；然后基于有限元分析方法，以静电吸附阵列 Ｋｅｙｗｏｒｄｓ： 吸附力输出最大化为目的，对影响静电吸附阵列吸附力的电极间隙、电极宽度 ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃａｄｈｅｓｉｏｎ； 和绝缘层厚度等参数进行了优化设计．实验结果与有限元仿真具有很好的一致 ｔｒｉｐｏｌａｒｅｌｅｃｔｒｏｄｅａｒｒａｙ； 性，验证了三极性结构设计的有效性．在实际设计过程中，在满足电极之间击穿 ｉｎｓｕｌａｔｉｎｇｌａｙｅｒ； 特性及绝缘层表面耐磨特性的前提下，应减小电极宽度和绝缘层厚度，增加电 ｆｉｎｉｔｅｅｌｅｍｅｎｔａｎａｌｙｓｉｓ 极对数，从而增加电极阵列的总体边缘长度，从而提高静电吸附阵列的吸附力． 　　收稿日期：２０１６－０８－２４；修回日期：２０１６－１２－０５ 基金项目：国家自然科学基金联合项目（Ｕ１３０４５０８）；河南省科技攻关项目（１５２１０２２１０１４０） 作者简介：过金超（１９７８—），男，河南省开封市人，郑州轻工业学院副教授，博士，主要研究方向为机器人智能控制与信息 融合． 过金超，等：三极性静电吸附阵列的结构优化及分析 ·６７· Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｔｒｉｐｏｌａｒｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃａｄｈｅｓｉｏｎｍｏｄｅｌｗａｓｐｒｏｐｏｓｅｄｂａｓｅｄｏｎｔｈｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｏｆｔｈｅｅｌｅｃｔｒｉｃ ｆｉｅｌｄｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎｏｆｔｈｅｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃａｏｌｈｅｓｉｏｎａｒｒａｙｆｏｒｄｅｆｉｃｉｅｎｃｙｏｆｅｘｉｓｔｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏｓｔａ