螺旋叉指电极的压电圆盘扭转致动器及其应用研究-精密仪器及机械专业毕业论文.docxVIP

摘要摘 摘要 摘 要 目前，压电材料是智能材料结构中使用最为广泛的材料之一。压电陶瓷驱动 器也一直是这一领域内的最热门的科研内容之一。2008年，中国科学技术大学 的科研人员经过长期的研究，首次制造出一种结构简单，便于加工，且扭转角度 大的螺旋电极式压电纤维扭转致动器。在该压电纤维扭转结构的启发下，我们希 望能够研制出一种能够提供扭转压电圆盘致动器。根据压电纤维结构的变形转换 原理，基于压电陶瓷圆盘的扭转驱动结构的设计成为这一课题的首要任务。 本文提出了一种表面螺旋叉指型电极的压电圆盘扭转驱动器结构。以等间距 螺旋电极为例，根据应变变换原理，分析了这种扭转驱动器的变形原理，建立起 这种扭转驱动器的静态数学模型。利用数学解析法推导出扭转变形的表达式，指 出这种压电圆盘驱动器可以提供较大的扭转变形，并详细分析了扭转变形量与电 极螺旋角之间的关系。 为了进一步了解这种类似交叉指型电极的螺旋表面电极对驱动器性能的影 响，利用有限元分析软件ANSYS，详细分析了圆盘表面的电场分布特点，指出 实际电场与数学模型之间的差异及其造成的影响，并以此修正了数学解析结果中 的扭转变形表达式，指出在实际情况下，在有效区域中间位置处的螺旋角为450 时，该致动器可以产生较大的扭转角． 利用直径33mm、厚度0．2mm的压电陶瓷圆盘制作出螺旋交叉指型电极扭转 驱动器样品。利用多普勒测振仪和激光反射法测试了其静态和动态扭转变形的基 本特性，实验结果表明这种驱动器具有优良的特性。当驱动电压为1000V时， 其静态扭转角可达到0．00520；在225．6 kHz扭转谐振频率点，10Kp的正旋激励 可以产生幅度为0．01840的扭转运动。在谐振频率152 kHz处，扭转角仅为 0．00210，约为最大扭转角的1／9。在谐振频率81．2 kHz处，扭转角为0．000860。 并且验证了圆盘的扭转应变随电压增加而增大且具有线性特性。 关键词：压电圆盘，扭转驱动器，螺旋叉指型电极，数学解析法，有限元法，电 场分布 AbstractABSTRACT Abstract ABSTRACT Recently，piezoelectric material is one of the most widely used materials in intelligent materials and structures．From beginning，piezoelectric actuator is one of the most popular researching content in this area．After a long term research，the University of Science and Technology of China first fabricated a piezoelectric fiber torsional actuator with spiral electrodes which could be fabricated easily and produced an big torsional angle．Based on the spiral electrodes structure，all idea was proposed to make a piezoelectric disk torsional actuator with spiral interdigitated electrodes．According to the deformation change principle of piezoelectric fiber,the design oftorsional actuator based on piezoelectric disk is the first task in the subject． IIl the paper,a torsional piezoelectric disk actuator with spiral electrodes is proposed．Its working principle is explained with strain transforming principle and the static model is created．Using mathematical analysis method，the expressions of torsional deformation is educed and it points out that such an actuator Can produce relatively large torsional str