半导体厂务系统自动化.PPT

半導體廠務系統簡介-化學供應系統 半導體廠務系統簡介-機電與附屬系統 半導體廠務系統簡介-機電與附屬系統 半導體廠務系統簡介-機電與附屬系統 半導體廠務系統簡介-機電與附屬系統 半導體廠務系統簡介-無塵室系統 半導體廠務系統簡介-無塵室系統 半導體廠務系統簡介-無塵室系統 廠務監控系統設計-設計例 廠務監控系統設計-設計例 廠務監控系統設計-設計例 廠務監控系統設計-設計例 廠務監控系統設計-設計例 廠務監控系統設計-設計例 廠務監控系統設計-設計例 廠務監控系統設計-設計例 System Integration 系統架構需求分析 硬體架構分析規劃 應用功能需求分析 應用功能架構規畫 系統架構需求分析 系統架構需求分析 Discrete Process? Sequence? State? On/Off? Transfer Lines, Motor, Switch Implement method PLC IPC , IO Continuous Process? Piping monitoring? Tank? Temperature / Pressure / Flow rate / Level ? DCS Hybrid Control System (PLC DCS, PAC) 系統架構需求分析 符合系統控制功能的要求 單一廠牌產品能符合需求, 降低成本? 系統本身具有之整合能力, 與其他系統之整合能力? 系統架構 資料層 控制層 現場層 硬體架構分析規劃 系統需求需要建構哪些層別 現場設備分布 硬體線 ? 通訊線 ? 系統控制 控制邏輯規劃 監視與操控 畫面規劃 系統操作需求 系統設定規畫 資料收集與分析 資料庫規劃 資料分析系統 使用介面規劃 系統架構參考-Siemens Layers SCADA (ProfiNet) Control Layer (ProfiBus) Field AS Hardwire 系統架構參考-AB Layers SCADA – Ethernet Control Layer -- ControlNet Field Layer DH+ Foundation Fieldbus CAN Bus Hardwire 系統架構參考-Adventech Ethernet overall More integration devices / interface SCADA (opertaion) Stations, C/S, Redundant, Internet Control Control functions RIO P2P Integration with other systems Redundant Field Equipment functions, interface, communication Example Facility System … 硬體架構分析規劃 信號種類 : AIO, DIO , 通訊, 影像 ? 距離考量 通訊方式 : 硬體線路, RS232, RS485/422, Ethernet, Wireless, 佈線方式 : 線槽規劃, 配管 (EMT, 防爆, 防蝕?) 佈線種類 通訊線, 信號線, 電力線 (干擾問題) 區域條件 溫度, 壓力, 接地, 干擾, 廠務監控系統設計-設計例 毒氣偵測點位包含 Tool Exhaust 點, 無塵室環境點, VMB Exhaust 點, 氣瓶櫃 Exhaust 點, Vertex MDA 之輸出連接到 PLC, 並提供通訊點可監測狀態 毒氣偵測連動需求需 Shutdown 上層供應端, 被Shutdown之設備為氣瓶櫃, VMB, 需要有 DO 點 毒氣系統連動需要推動廣播系統, 有一個 DO 點 毒氣系統連動需要推動蜂鳴器, 警示燈, 有兩個 DO 點 緊急警報需要發送簡訊, 需有通訊介面 廠務監控系統設計-設計例 監控規劃 氣瓶櫃/VMB/TS/Vertex MDA監控/簡訊發送系統需要 Ethernet 網路, 氣瓶櫃/VMB/TS/Vertex MDA監控使用 OPC 介面整合 簡訊發送系統利用圖控與簡訊資料庫整合 氣瓶櫃/VMB硬體點/各連動系統需要 PLC DI/O 點 Vertex MDA控制需要 Profibus 連線 PLC 架構設計為 Redundant PLC 系統直接與 PA 整合介面 氣瓶櫃/VMB TS/Vertex MDA 分別設計圖控畫面及流程畫面整合整體系統 廠務監控系統設計-設計例 監控設計 PLC 程式設計 I/O Server 設計/設定 PLC 通訊設定 OPC 通訊設定 圖控程式設計 Alarm Log 資料庫設定 工業用資料庫資料設定資料收集 I/O 點對點測