椭偏仪测量薄厚度数据记录.docxVIP

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2019-07-23 发布于浙江
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椭偏仪测量薄厚度数据记录.docx

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光学实验的数据处理 PAGE \* MERGEFORMAT2 姓名：吴孟杰学号：0120914430215 班级：光信科0902班椭偏仪测量薄膜厚度数据记录实验数据记录椭偏仪测量薄膜厚度次数检偏角A 起偏角P 第一次 48．25° 173.75° 第二次 133.50° 81．00° 实验数据处理第一次数据处理检偏角A1=48．25°90°，所以P1=173.75° 第二次数据处理检偏角A2=133.50°90°，故而A2 起偏角P2=81，00°，故而P2‘=90°+P2=81.00°+90° 均值计算起偏角P= 检偏角A 查表根据上面计算得出的起偏角P和薄膜厚度d=184nm 误差 W=1.88% 实验总结通过本次试验学会了使用椭圆偏振仪测量薄膜厚度的方法和技巧，观察到了实验现象，而且所测得数据均在允许的误差范围内，因此实验是成功的。本次实验经历了多次长时间的调试，最后才得到了正确的结果，很大程度上取决于实验仪器的精度太差，在操作中操作人员操作不得当。思考题 1.1/4玻片的作用是什么？ 1/4波片使出射光中 o光 e光的位相差增加 π/2，出射后成椭圆偏振光。 2.椭圆光法测量薄膜厚度的基本原理起偏器产生的线偏振光经取向一定的1/4波片后成为特殊的椭圆偏振光，把它投射到待测样品表面时，只要起偏器取适当的透光方向，被待测样品表面反射出来的将是线偏振光．根据偏振光在反射前后的偏振状态变化，包括振幅和相位的变化，便可以确定样品表面的许多光学特性． 3.用反射型椭圆仪测量厚度对样品的制备有什么要求？薄膜样品在足够的面积上厚度均匀、各向同性、无杂质和缺陷，衬底材料也应该均匀、各向同性，另外薄膜材料厚度也应有一定的范围，不宜过大也不能过小。