面向微超级电容的碳基微纳分级结构制备工艺研究-机械电子工程专业毕业论文.docx

A Dissertation Submitted in Partial Fullfillment of the Requirements for the Degree of Doctor of Philosophy in Engineering Research on preparation of carbon-based micro/nano hierarchical structures for microsupercapacitors Ph.D Candidate : Jiang Shulan Major : Mechatronic Engineering Supervisor : Prof. Shi Tielin Prof. Tang Zirong Huazhong University of Science and Technology Wuhan, Hubei 430074, P. R. China May 19, 2015 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得 的研究成果。尽我所知，除文中已经标明引用的内容外，本论文不包含任何其 他个人或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和 集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人 承担。 学位论文作者签名： 日期： 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，即：学校 有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查 阅和借阅。本人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有 关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位 论文。 本论文属于 保密□，在年解密后适用本授权书。 不保密□。 （请在以上方框内打“√”） 学位论文作者签名： 指导教师签名： 日期： 年 月 日 日期： 年 月 日 华 华 中 科 技 大 学 博 士 学 位 论 文 I I 摘 要 碳基微纳分级结构不仅具有良好的导电性和电化学稳定性，还具有表面积大和 结构稳定的优点。但是它们的制备大多存在工艺繁琐、成本高、重复性差等缺陷。 因此本文提出了三种操作简单且低成本的碳基微纳分级结构制备工艺，制备了新型 碳基微纳分级结构，并克服了上述工艺缺陷。应用碳基微纳分级结构制备微超级电 容电极和电容器原型，并采用循环伏安法、恒电流充放电法和交流阻抗法等对其电 化学性能进行表征。本文的主要内容包括： 1、提出一种独特的碳基微纳分级结构制造方法。用碳纳米管（CNTs）修饰 SU-8 光刻胶和显影液，通过光刻工艺结合热解工艺制备了 C-MEMS/NEMS 结构 （ 即 CNTs/C-MEMS ）。采用电化学沉积工艺在所得的碳结构上集成二氧化锰 （MnO2）薄膜，通过控制沉积参数，获得不同形貌的 MnO2/CNTs/C-MEMS 复合结 构 。 与 C-MEMS 、 CNTs/C-MEMS 和 MnO2/C-MEMS 三 种 微 电 极 相 比 ， MnO2/CNTs/C-MEMS 微电极具有最优异的电化学性能，这是由 CNTs 和 MnO2 的协 同作用所实现。MnO2/CNTs/C-MEMS 复合电极的面积比容量在 0.5 mA cm-2 时可达 到 238 mF cm-2，循环测试 6000 次后容量可保持为初始容量的 81.8%。 2、提出基于纳米压印-氧等离子体刻蚀-热解的碳微纳分级结构制备工艺。通过 热熔工艺制得半球结构，并制备 PDMS 半球模板，将其用于纳米压印工艺中，获得 大批量的 SU-8 光刻胶半球结构。采用氧等离子体刻蚀所得光刻胶结构，通过调控 刻蚀的时间，得到了不同形貌的光刻胶微纳分级结构。再结合热解工艺，选取合适 的热解参数，获得碳微纳分级结构。利用电化学沉积工艺制备 MnO2/碳微纳分级结 构，将其用作微超级电容电极时表现出良好的电化学性能。当扫描速度为 5 mV s-1 时，MnO2/碳微纳复合电极的质量比容量可达到 337 F g-1。 3、提出对三维碳微结构进行表面改性处理获得碳微纳分级结构的工艺，基于 所得结构开发对称型微超级电容器原型。经过湿化学处理后碳微结构表面被剥离形 成纳米结构，再将其置于还原性气氛中退火处理，得到活性碳微纳分级结构。它具 有比表面积大、导电性好、浸润性好的优点，将它用作微电极时具有大的面积比容 量、良好的倍率性能和循环特性。由此开发的全固态柔性对称型超级电容器表现出 优异的电化学性能，在 0.31 mA cm-2 时面积比容量可达 222.05 mF cm-2，循环测试 30000 次后比容量为初始比容量的 104%，弯曲和扭曲状态对其