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谐振式传感器 一、概述 一、概述 一、概述 一、概述 一、概述 二、基础理论 谐振子的Q值 由定义可见Q值表示阻尼的大小及消耗能量快慢的程度。 从幅频曲线上可以看，Q值表示了曲线陡峭程度。 Q值计算 对于谐振子来说，Q值越大，选择频率能力越大，频率稳定度越好。 Q值的两种定量的计算： Q对谐振子自激振荡的影响 Q值越高，相对于储存的能量来说所需付出的能量 就少，储能效率就越高。谐振频率稳定度越好，传感 器也就越稳定，抗外界振动干扰的能力越强，传感器 的重复性就越好。 Q对传感器精度的影响 三、振动筒式传感器 三、振动筒式传感器 结构特点：大致分五个部分 1 振动圆筒 为传感器的敏感元件，通和常为是只壁厚仅为0.08mm左右的薄壁圆筒。 改变筒壁的厚度，可以获得不同的测压范围。圆筒材料必须是 能够构成闭环磁路的磁性材料，应具有很底的弹性温度系数。 2 激振线圈 3 拾振线圈 激振线圈和拾振线圈在筒内相隔一定距离成十字交叉排列，以防 止或尽量减少两只线圈的耦合作用。 4 基座 基座上安装有振动筒和线圈组件，并有通入被测压力的进气孔。 5 屏蔽与外壳 避免外界电磁场的干扰，要加屏蔽，有时外壳也可代替屏蔽。 三、振动筒式传感器 三、振动筒式传感器 三、振动筒式传感器 三、振动筒式传感器 三、振动筒式传感器 电磁方式激励、拾振最突出的优点是与壳体无接触。但电磁转换效率低，磁性材料的稳定性差，易产生电磁耦合等。 压电方式激励 * 自从人类创造了音乐，谐振技术就问世了。远古石器时代的人已会应用长度和直径不同的乐管吹奏不同的音调，即其谐振频率不同。后来发展了弦乐器和乐鼓，改变弦的粗细和长度，或者改变鼓皮的张紧度和厚度，就可改变它们的发声频率。然而，在传感器上利用谐振技术却是从上世纪七十年代才开始的。 基于谐振技术的谐振式传感器，自身为周期信号输出（准数字信号），只用简单的数字电路即可转换为微处理器容易接受的数字信号。分为两类：基于机械谐振结构谐振式传感器和MOS环振式谐振传感器。本课主要介绍基于机械谐振结构的谐振式传感器。它们可以利用振动频率、相位和幅值作为敏感信息的参数。 谐振传感器的优势： 输出信号是周期的，便于与计算机连接和远距离传输； 传感器系统是一个闭环结构，处于谐振状态，决定了传感器系统的输出自动跟踪输入； 谐振子固有的谐振特性，决定其具有高的灵敏度和分辨率； 相对于谐振子的振动能量，系统的功耗是极小量。表明传感器系统的抗干扰性强，稳定性好。 谐振式传感器适于多种参数测量，如压力、力、转角、流量、温度、湿度、液位、粘度、密度和气体成分等。使得这类传感器已发展成为一个新的传感器家族。 目前的谐振式传感器种类很多。包括以精密合金用精密机械加工制成的谐振筒、谐振梁、谐振膜、谐振弯管；以及利用微机械加工技术，以硅和石英为基底制出的微结构谐振式传感器；另外，声表面波传感器是一种基于高的机械振动频率的谐振式传感器。上述谐振式传感器的频率范围是从音频到100MHz。 R为谐振敏感元件又称谐振子。是传感器的核心元件，工作时以其自身固有的振动模态持续振动。谐振子的振动特性直接影响谐振式传感器的性能。谐振子有多种：谐振梁、复合音叉、谐振筒等。 D、E分别为信号检测器和激励器，实现机电转换，提供闭环自激的条件。激励方式有：电磁、静电、（逆）压电效应等；检测方式有：磁电、电容、（正）压电效应、光电检测等。 A是放大器，用于调节信号的幅值和相位，使系统可靠稳定地工作于闭环自激状态。 O是系统检测输出装置。用于检测周期信号的频率、幅值或相位。 C是补偿装置，主要对温度误差的补偿。 六个主要部件构成了谐振式传感器的三个重要环节： （１）由ERD组成的电－机－电谐振子环节，核心； （２）由ERDA组成的闭环自激环节，构成的条件； （３）由RDO(C)组成的信号检测、输出环节，实现检测被测量的手段。 　 二、基础理论 :如上图所示，对应幅值增益为　　　　， 称为半功率点 （1） :系统的阻尼系数 （2） :系统的固有频率 二、基础理论 对于弱阻尼系统： 所以Q增大，起振的幅值条件易于满足。 二、基础理论 对于一个二阶系统，相频关系： 二、基础理论 当P＝1时， , ，考虑以 为中心的相角范围 当 时， 随Q单调增加。 表明，相同的频率变化所引起的相角变化值随Q值的增大而增加，反过来讲就是需要相同的相角变