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21 3 Vol21 No . 3
2000 9 CHINESE JOURNAL OF LU MINESCENCE Sept. , 2000
氧硼磷掺杂对氢化非晶硅中铒1. 54m 发光的作用
1, 2 1, 2 1, 2 1 3
梁建军 , 王永谦 , 陈维德 , 王占国, 常勇
( 1 , 100083; 2
, 100080; 3 , 200083)
: ( PECVD)
, ,
, , ,
: ; ; ; ; ;
: O4723 : A : 1000-7032(2000) 03-0196-04
11
1 引言
(H , 100%) ,
2
( a-SiOH) X
[ 1, 2]
1983 Ennen
11
B2H6( 05%)
[ 3~ 8] PH ( 5%)
3
3+ 15 - 2
Er 400keV, 2 10 cm
[5]
,
( a- SiH) ,
,
SiH ( 100%) H ( 100% ) 520
4 2
, ,
( ) (
16 - 2
[9, 10] 60keV, 5 10 cm )
[ 11~ 13] ( RTA)
,
[3] +
, Mic el ( FT IS, IFS/ 20HR) Ar
: , 5145nm
,
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