电容式传感器原理及其应用.ppt

传感器原理及其应用 ; 电容式传感器的工作原理及分类;平板电容器电容量表达式为： 三个参数都直接影响着电容量的大小。如果保持其中两个参数不变，而使另外一个参数改变，则电容量就将发生变化。 如果变化的参数与被测量之间存在一定函数关系，那么电容量的变化可以直接反映被测量的变化情况，再通过测量电路将电容量的变化转换为电量输出，就可以达到测量的目的。 电容式传感器通常可以分为三种类型：改变极板面积的变面积式；改变极板距离的变间隙式；改变介电常数的变介电常数式。;对于平板状结构，在图（）中，两极板有效覆盖面积就发生变化，电容量也随之改变，其值为： 式中， ，为初始电容值。 对于柱状结构，在图（）中，覆盖面积就发生变化，电容量也随之改变，其值为： 式中， ，为初始电容值。 ;（）角位移型 角位移型是变面积式电容传感器的派生形式，其派生形式种类较多，如图所示。;当活动极板因被测参数的改变而引起移动时，电容量随着两极板间的距离的变化而变化，当活动极板移动后，其电容量为：;当电容式传感器的电介质改变时，其介电常数变化，也会引起电容量发生变化。 变介电常数式电容传感器就是通过介质的改变来实现对被测量的检测，并通过传感器的电容量的变化反映出来。它通常可以分为柱式和平板式两种，如图所示。;变介电常数式电容传感器的两极板间若存在导电物质，还应该在极板表面涂上绝缘层，防止极板短路，如涂上聚四氟乙烯薄膜。 变介电常数式电容传感器除了可以测量液位和位移之外，还可以用于测量电介质的厚度、物位，并可以根据极板间介质的介电常数随温度、湿度、容量的变化而变化来测量温度、湿度、容量等参数。; 电容式传感器的测量电路;传感器工作前，先将电桥初始状态调至平衡。当传感器工作时，电容 发生变化，电桥失去平衡，从而输出交流电压信号。 此信号先经过交流放大器将电压进行放大，再经过相敏检波器和低通滤波器检出直流电压、并滤掉交流分量，最后得到直流电压输出信号，它的幅值随着电容的变化而变化。 电桥的输出电压为：;（）单臂接法 （）差动接法;（）单臂接法 图()所示为单臂接法的变压器桥式测量电路，高频电源经变压器接到电容桥的一个对角线上，电容 构成电桥的四个臂，其中 为电容传感器。 当传感器未工作时，交流电桥处于平衡状态，有： 此时，电桥输出电压 。 当 改变时， ，电桥有输出电压，从而可测得电容的变化值。;（）差动接法 变压器电桥测量电路一般采用差动接法，如图()所示。 以差动形式接入相邻两个桥臂，另外两个桥臂为次级线圈。在交流电路中， 的阻抗分别为： 则有， 故，当输出为开路时，电桥空载输出电压为;双型电桥连接 ;可见，运算放大器的输出电压 与极板间距离 成线性关系。运算放大器电路解决了单个变极板间距离式电容传感器的非线性问题，但要求运算放大器的开环放大倍数和输入阻抗都足够大。 理想运算放大器的开环放大倍数 ，且输入阻抗 。为保证仪器精度，还要求电源电压的幅值和固定电容 值稳定。;当传感器未工作时，振荡频率为： 用调频电路作为电容式传感器的测量电路具有下列特点： （）抗干扰能力强，稳定性好； （）灵敏度高，可测量 级的位移变化量； （）能获得高电平的直流信号，可达伏特数量级； （）由于输出为频率信号，易于用数字式仪器进行测量，并可以和计算机进行通信，可以发送、接收，能达到遥测遥控的目的。;差动脉冲宽度调制电路产生的电路中各点电压波形如图所示。; 电容式传感器的特点及设计改善措施;．电容式传感器的缺点 （）输出阻抗高，带负载能力差：电容的容抗大还要求传感器绝缘部分的电阻值极高（几十兆欧以上），否则绝缘部分将作为旁路电阻而影响传感器的性能，为此要注意温度、湿度、清洁度等环境对绝缘材料绝缘性能的影响。 （）输出特性为非线性：虽可采用差动结构来改善，但不可能完全消除。其他类型的电容传感器只有忽略了电场的边缘效应时，输出特性才成线性，否则边缘效应所产生的附加电容量将与传感器电容量直接叠加，使输出特性非线性。 （）寄生电容影响大：电容式传感器的初始电容很小，而其引线电容、测量电路的杂散电容以及传感器极板与其周围导体构成的电容等“寄生电容”却较大。例如，将信号处理电路安装在非常靠近极板的地方可以削弱泄露电容的影响。;（）电容器的边缘效应