水热法成长铝掺杂氧化锌奈米材料与其光电元件之制作.pdf

水熱法成長鋁摻雜氧化鋅奈米材料與其光電元件之製作 學生：黃光緯 指導教授：黃建盛 博士 國立雲林科技大學電子工程系 摘要 本專題研究計畫將利用水熱法（hydrothermal method ）成長鋁摻雜氧化鋅奈 米柱，希望藉由鋁的摻雜改善氧化鋅導電性[1] ，且研究其材料特性與成長方式 並應用於光檢測器及顯示器元件。在本專題研究計畫中，奈米柱的製備首先是利 用射頻磁控濺鍍 (RF magnetron sputter)在於康寧玻璃基板上鍍上一層氧化鋅晶種 層。再透過水熱法成長氧化鋁鋅奈米柱陣列，並以硝酸鋅、硝酸鋁、六亞甲基四 胺 (HMT)作為溶劑在不同原子比濃度、不同溫度及時間條件之下成長，並歸納出 最佳成長條件。 藉由光學穿透量測譜得到鋁摻雜氧化鋅結構仍然有(80%)高穿透率，經場發 射掃描式電子顯微鏡 (FE-SEM)觀察表面型態、穿透式電子顯微鏡 (Transmission Electron Microscope)觀察其結晶形態以及利用 X- 光薄膜繞射儀(XRD)作一維結 構結晶方向之分析，氧化鋅鋁與 Wurzite晶型的氧化鋅的繞射圖譜相符合，都具 有很強的(002)繞射峰出現，證明氧化鋅並不會因為鋁的摻雜而改變原六方纖鋅 礦結構。在 光致螢光譜儀(PL)分析上，鋁摻雜氧化鋅與純氧化鋅比較，鋁摻雜氧化鋅有較高 的 (IUV/IVis) 比，表示氧化鋅經鋁摻雜過後改善其原本光學特性。最後將最佳成 長條件的氧化鋅鋁，利用高真空系統進行場發射量測和紫外光感測元件及濕度感 測 元件製作，進而分析其特性。 關鍵字：水熱法、氧化鋁鋅奈米柱、場發射 、紫外光感測、濕度感測 i Abstract This research project is growing the Al-doped ZnO nanorods by Hydrothermal method, improve the conductive of ZnO nanorods by doped aluminum and search the growth mode, material properties and applied to the optical detector and display devices. In this study, nanorods manufacturing first prepared by RF sputter and coating the ZnO seed layer on the Corning glass substrate. Then growing Al-doped ZnO nanorods array by hydrothermal method and find the best growth condition by zinc nitrate, aluminum nitrate and hexamethylene tetramine (HMT) as solved in different atomic ratio, temperature and growth time. The Al-doped ZnO nanorods structure still has high transmittance (80%) by optical penetration measurement; we observed surface and crystal morphology by field emission scanning electron microscope (FESEM), transmission electron microscope (TEM) and we analysis the one