采购内容及项目要求-山东大学采购网.DOC

采购内容及项目要求 一、项目简要概括 本项目为山东大学晶体材料研究所拟采购的脉冲激光沉积系统一套。该设备可填补我校在脉冲激光薄膜制备方面的空缺,同时也为我校的薄膜工艺方面提供更加完善的硬件及技术支持。 本项目共分为1个包。允许供应商投报原装进口设备，供应商不得对所投货物和服务分解后进行相应。本项目预算为人民币125万元（包含外贸相关费用）。 山东大学设备采购技术条款响应一览表 配置序号 配置名称 详细技术参数要求 数量 1 极限真空度 ≤6.67x10-6 Pa (经烘烤除气后)； 1 ★系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，20分钟可达到5x10-3Pa； 2 真空室组件 ★球型真空室尺寸Ф450mm，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行电化学抛光，不易氧化，持续提高及保持真空度。接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封； 1 3 旋转靶台组件 旋转顺畅不卡顿，精确控制，提高靶材利用率。 1 靶位公转换位机构，PLC控制，编码器控制旋转精度，精度1°，可任意角度控制定位； 4 基片加热台组件 加热炉最高温度 800℃±1℃，由热电偶闭环反馈控制； 1 5 工作气路 精度高，反应快 1 100SCCM质量流量控制器（高精度，反应快）、充气阀CF16、管路、接头等：1路； 6 抽气机组及阀门、管道 要求抽速快，极限真空度高 1 脂润滑分子泵及变频控制电源：1台（抽速1300升