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半导体气体传感器通用说明书 半半导导体体气气体体传传感感器器通通用用说说明明书书 工作原理 MQ系列气体传感器的敏感材料是活性很高的 金属氧化物半导体,最常用的如SnO2。金属氧化物 半导体在空气中被加热到一定温度时，氧原子被吸 附在带负电荷的半导体表面，半导体表面的电子会 被转移到吸附氧上，氧原子就变成了氧负离子，同 时在半导体表面形成一个正的空间电荷层，导致表 面势垒升高，从而阻碍电子流动（见图1）。 在敏感材料内部，自由电子必须穿过金属氧化 物半导体微晶粒的结合部位（晶界）才能形成电流。 由氧吸附产生的势垒同样存在于晶界而阻碍电子 的自由流动，传感器的电阻即缘于这种势垒。在工 作条件下当传感器遇到还原性气体时，氧负离子因 与还原性气体发生氧化还原反应而导致其表面浓 图1-晶粒间势垒模型（洁净空气） 度降低，势垒随之降低（图2和图3）。导致传感器 的阻值减小。 在给定的工作条件下和适当的气体浓度范围 内，传感器的电阻值和还原性气体浓度之间的关系 可近似由下面方程表示： 其中：Rs：传感器电阻 A：常数 [C]:气体浓度 α:Rs曲线的斜率 传感器特性 1 氧气分压的影响 图4所示为大气中氧分压（PO2）和MQ气体传感器在 清洁空气中阻值之间的典型关系。 2 气敏特性 根据前述方程，在某一气体浓度范围内（从几十ppm 至几千ppm），在工作条件下，传感器的电阻同气体 浓度呈对数线性关系。如图5所示。 传感器对多种还原气体具有敏感性，对指定气体的 相对灵敏度，取决于敏感材料的构成及其工作温 度。 1 郑州炜盛电子科技有限公司 实际上，每个传感器的电阻值和相对灵敏度都不完 全相同，图5中描述的敏感特性为传感器在不同气 体浓度下的阻值(Rs)与待检测气体的一定浓度下 的阻值(R0)的比值与浓度的对数关系。 3 传感器响应特性 在工作条件下传感器先被放入还原性气体中，其电 阻急剧下降，待其稳定后，再将其置入洁净空气中， 传感器的电阻经过很短的时间即恢复到它的初始 值。这个过程中传感器典型的动作如图6所示。传 感器的响应速度和恢复速度与传感器型号、材料种 类及所测气体的种类相关。 图4-氧气分压的典型影响 4 初始动作 如图7所示，当传感器不通电存放后，再在空气中 通电，无论是否存在还原性气体，传感器通电后的 最初几秒钟，其阻值都会（Rs）急剧下降，然后逐 渐达到一个平稳的水平，即为传感器的初始动作。 初始动作时间的长短取决于传感器储存期间的气 氛条件、储存时间长短，并因传感器型号而异，也 与通电后传感器周围的氛围有关。通电后传感器的 初始动作会引起报警（参照4-6节），因此在设计电 路时要予以充分考虑。 5 温、湿度影响 MQ传感器的检测原理是基于气体在传感器表面的 化学吸附、反应与脱附。环境温度的变化会改变化 学反应速度，从而影响传感器的敏感特性。此外， 水蒸气会吸附在传感器表面，湿度将会引起Rs的降 低。如图8所示。精确使用MQ传感器时应考虑温、 图5-典型的敏感特性 湿度的影响。 6 长期稳定性 MQ系列传感器的长期稳定性典型数据如图9所示。 通常情况下，MQ传感器表现出稳定的经时特性，适 用于免维护应用的场合。 7 加热器电压的影响 在设计传感器的加热器时，充分考虑了在给定的恒 定加热电压下，气体传感器表现出最佳的敏感特 性。灵敏度随加热电压的变化如图10所示。对于加 热电压对传感器性能的影响，使用时应充分考虑。 MQ气体传感器使用注意事项 1 必须避免的情况 1.1 暴露于有机硅蒸气中 如果传感器的表面吸附了有机硅蒸气，传感器 图6-典型的传感器响应恢复 的敏感材料会被包裹住，抑制传感器的敏感性，并 且不可恢复。传感器要避免暴露其在硅粘接剂、发 胶、硅橡胶、腻子或其它含硅塑料添加剂可能存在 的地方。