用于红外晶体双折射测量的单棻棷棿波片法.pdfVIP

第 卷 第 期 光学精密工程 棽棸 暋 棻棸 斨旓旍棶棽棸暋斘旓棶棻棸 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋暋暋 暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻棽 棻棸 暋 暋 暋 斚斻旚棶棽棸棻棽 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻棽棻棸灢棽棻椃椂灢棸椄 用于红外晶体双折射测量的单 棷 波片法 棻棿 棳 棳 棳 棻 棻棽灣 棻棽 棻 棻棽 棳 棳 棳 棳 唐玉国 何 淼 崔继承 巴音贺希格 陈少杰 暋 棬 棳 椈 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 吉林长春 棻棶 棻棾棸棸棾棾 棳 棭 中国科学院大学 北京 棽棶 棻棸棸棸棾椆 椇 棷 暎 摘要 提出了一种基于单 棻棿波片法的测量方法以实现红外波段光学晶体双折射光程差的精确测量 采用厚度差小于 棳 棷 暎 一个周期厚度的两个样品进行比对 有效克服了单 棻棿波片法测量厚度的限制 依照此原理研制了测试波长为 棾棶棾椆 暎 棳 棳 毺旐的晶体双折射测试设备 应用琼斯矩阵理论 推导了存在主要误差因素时的信号光强解析表达式 并由此分析了起 偏器方位角误差暍棷 暍 暍 棳 棻棿波片定位精度 样品方位角偏差 检偏器旋转定位精度对测量结果的影响 综合评价了本测量方法 暎 棳 棷 棳 棳 的精度 实验结果表明 应用研制的设备实测标准 棻棿波片的双折射光程差误差为 棸棶棸棸棾椃椂 旐 相对误差为 棸棶棿棿棩 毺 暎 棳 棷 暍 暎 满足系统要求 得到的结果表明 采用基于单 棻棿波片法的新测量方法能够有效 精确测得红外晶体的双折射光程差 椇 椈 椈 棷 椈 关 键 词 红外晶体 双折射测量 单 波片法 精度分析 暋 暋 棻棿 中图分类号椇 椈 文献标识码椇 椇