等离子体电子学.PDF

西安交通大学电子与信息工程学院研究生课程 《等离子体电子学》 第六章气体中带电粒子输运的一般性质 主讲人：王洪广 2017-05-10 气体中带电粒子输运的一般性质 直流电场中的电子输运 输运参数  前面所讲的电子群参数与此处的输运参数含义基本相同  低温等离子体工业应用中主要涉及两种外加电场：直流电场和射频电场， 两种情况下输运参数不同  直流电场中输运参数依赖于约化场强E/N  射频电场中输运参数同时依赖于E/N和频率  本章内容输运参数的讨论限于流体力学参数范围（E/N~1000） 气体中带电粒子输运的一般性质 直流电场中的电子输运 输运参数（续）  现有输运参数的数据主要来源与实验测量（实验测量是在高气压条件下 进行的，高气压下非流体效应可忽略），有两类主要的实验测量方法  快门栅法（精度高，但只适用于低约化场强情况）  脉冲汤森实验（精度相对低，±3%，但可用于较高约化场强情况）  这些数据可用于低温等离子体的数值模拟  有专门相关的文献和网络数据库 气体中带电粒子输运的一般性质 直流电场中的电子输运 电子迁移速度  分为四个主要区段  低约化场强，电子的动能 通过弹性碰撞转移出去  单原子气体，电子的一部 分动能不能交换出去  多原子气体，因为振动激 发态的存在能更有效地吸 收电子的动能  激发，电子的能量可以有 效地交换出去 气体中带电粒子输运的一般性质 直流电场中的电子输运 电子迁移速度（续）  不同气体的差别  多原子气体明显存在 III区及相应的极值  单原子和双原子气体 则不明显 多原子分子迁移速度从极大值随 E/N增大而变小的现象称为负微 分电导（具体需要用能带理论去 解释） 气体中带电粒子输运的一般性质 直流电场中的电子输运 多原子分子迁移过程中的速度分布  三种不同的约化场强下，可以看到 整体速度从大、到小再变大的变化 情况 气体中带电粒子输运的一般性质 直流电场中的电子输运  扩散参数  低约化场强下，纵向扩散系数 比横向扩散系数小，且  某些特殊情况中，由于气体碰 撞速率的快速降低，导致纵向 扩散系数较大  在高约化场强下，纵、横向扩 散速度基本相等  在10~100Td间，纵横向分量 间存在差值较大 气体中带电粒子输运的一般性质 直流电场中的电子输运 电子平均能量  平衡状态的电子能量  电子从电场中获得能量  通过碰撞消耗能量  电子平均能量虽然在连续 性方程中不出现，但它仍 然是一个非常重要的参量  目前还没有可以高精度测