衬底表面状态对碲镉汞薄膜表面起伏的影响.pdfVIP

第４７卷　 第６期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４７，Ｎｏ．６ 　 ２０１７年６月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｊｕｎｅ，２０１７ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１７）０６０７４５０５ ·红外材料与器件 · 衬底表面状态对碲镉汞薄膜表面起伏的影响 杨海燕，胡尚正，郭明珠 （华北光电技术研究所，北京 １０００１５） 摘　要：通过改变碲锌镉衬底的表面加工方法及溴－甲醇腐蚀液的浓度，研究衬底的表面状态 对碲镉汞薄膜表面起伏情况的影响。利用傅里叶红外透射（ＦＴＩＲ）光谱议、晶片扫描成像系 统、光学显微镜等工具对不同条件下的碲镉汞薄膜的表面起伏情况进行观察和比较。研究初 步发现碲锌镉衬底不经过化学抛光，以及不经过腐蚀直接进行外延的情况下得到的碲镉汞薄 膜的表面起伏状况会得到一定程度的改善，但是考虑溴－甲醇腐蚀液对机械抛光造成的表面 应力的释放作用以及外延过程中的衬底回熔的相互作用会使得外延所得碲镉汞薄膜表面起伏 情况更加复杂。因此，仍需要对衬底使用前的化学抛光对薄膜表面起伏的作用以及确定合适 的溴－甲醇腐蚀液的浓度进行进一步的研究。 关键词：碲镉汞；腐蚀液浓度；碲锌镉衬底；化学抛光 ＋ 中图分类号：ＴＮ３０４２６　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１７．０６．０１８ ＩｎｆｌｕｅｎｃｅｏｆｓｕｒｆａｃｅｓｔａｔｅｏｆＣｄＺｎＴｅｓｕｂｓｔｒａｔｅ ｏｎｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｆｌｕｃｔｕａｔｉｏｎｏｆＨｇＣｄＴｅｆｉｌｍ ＹＡＮＧＨａｉｙａｎ，ＨＵＳｈａｎｇｚｈｅｎｇ，ＧＵＯＭｉｎｇｚｈｕ （ＮｏｒｔｈＣｈｉｎａＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＥｌｅｃｔｒｏｏｐｔｉｃｓ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００１５，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＴｈｅｉｎｆｌｕｅｎｃｅｏｆｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｓｔａｔｅｏｆＣｄＺｎＴｅｓｕｂｓｔｒａｔｅｏｎｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｆｌｕｃｔｕａｔｉｏｎｏｆＨｇＣｄＴｅｆｉｌｍｈａｓｂｅｅｎ ｓｔｕｄｉｅｄｂｙｃｈａｎｇｉｎｇｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇｍｅｔｈｏｄｓｏｆＣｄＺｎＴｅｓｕｂｓｔｒａｔｅａｎｄｔｈｅｅｔｃｈｉｎｇｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎｏｆＢｒＣＨＯＨ． ３ ＦＴＩＲ，ｃｒｙｓｔａｌｏｒｉｅｎｔａｔｉｏｎｓｃａｎｎｉｎｇｉｍａｇｉｎｇｓｙｓｔｅｍａｎｄｏｐｔｉｃａｌｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅｗｅｒｅｕｓｅｄｔｏｏｂｓｅｒｖｅａｎｄｃｏｍｐａｒｅｔｈｅｓｕｒ ｆａｃｅｆｌｕｃｔｕａｔｉｏｎｏｆＨｇＣｄＴｅｆｉｌｍｕｎｄｅｒｄｉｆｆｅｒｅｎｔｃｏｎｄｉｔｉｏｎｓ．Ｔｈｅｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｒｅｓｕｌｔｓｉｎｄｉｃａｔｅｔｈａｔｔｈｅｆｌｕｃｔｕａｔｉｏｎｏｆ ＨｇＣｄＴｅｆｉｌｍｗｉｌｌｂｅｉｍｐｒｏｖｅｄｗｈｅｎｔｈｅＣｄＺｎＴｅｓｕｂｓｔｒａｔｅｗｉｔｈｎｏｃｈｅｍｉｃａｌｐｏｌｉｓｈｉｎｇａｎｄｅｔｃｈｉｎｇｉｓｕｓｅｄ，ａｎｄｔｈｅｉｎ ｆｌｕｅｎｃｅｏｆＢｒＣＨＯＨｏｎｍｅｃｈａｎｉｃａｌｐｏｌｉｓｈｉｎｇｗｉｌｌｍａｋｅｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｆｌｕｃｔｕａｔｉｏｎｏｆＨｇＣｄＴｅｆｉｌｍｍｏｒｅｃｏｍｐｌｉｃａｔｅｄ． ３ Ｔｈｅｒｅｆｏｒｅ，ｔｈｅｅｆｆｅｃｔｏｆｃｈｅｍｉｃａｌｐｏｌｉｓｈｉｎｇｏｎｔｈｅｆｌｕｃｔｕａｔｉｏｎｏｆＨｇＣｄＴｅｆｉｌｍａｎｄａｐｐｒｏｐｒｉａｔｅｅｔｃｈｉｎｇｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎｏｆ