基于PET基片的柔性石墨烯应变计加工方法-强激光与粒子束.PDFVIP

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 , 30 3 Vol.30 No.3 年 月 , 2018 3 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Mar. 2018 基于PET基片的柔性石墨烯应变计加工方法* , , , 袁明权 杨 荷 张照云 熊 壮 ( , ) 中国工程物理研究院 电子工程研究所 四川 绵阳 621999 : , , 摘 要 针对 塑料耐温性能较差 与标准微纳加工工艺不兼容等问题 开发了面向 塑料基底 PET PET 、 。 、 材料的光刻 镀膜等微纳加工工艺 通过 生长 转移等方式将单层石墨烯薄膜附着于 厚 基 CVD 0.5mm PET , 。 , 底 并采用微纳加工的方式制备了柔性石墨烯压阻应变计 工艺结果表明 本研究所提出的加工方法适用于以 。 PET塑料作为衬底材料的柔性微纳器件的制作 通过对 PET塑料衬底施加应变并测量石墨烯的电阻变化 , 。 率 可计算出石墨烯的压阻应变系数约为 1.3 : ; ; ; 关键词 石墨烯 应变计 塑料 微纳加工 PET 中图分类号: 文献标志码: : / O613.71 A doi10.11884HPLPB201830.170423 , 、 、 作为适应性最强的工程构件力学性能的测试元件 应变计被广泛应用于土木 铁路 机械和航空航天等工 。 , 。 程领域的健康监测和风险预警 在军工领域 应变计也起到至关重要的作用 应变计既能对库存武器关键部 、 , 、 件的受力情况 应力分布等性能参数进行实时监测 又能为库存武器性能的综合分析 老化模型的建立以及相 [ ] 1-3 , 。 关部组件的寿命预测 提供有效的实测数据支撑 电阻应变计已在表面比较平整的构件的常规应变测量中