第8章光学非球面零件的超精密加工.ppt

如果最大偏离量只有几微米，可以在最接近球面抛光结束后进行修抛； 最大偏离量在几十到几百微米时，可在细磨时进行； 最大偏离量达到几毫米，需要在粗磨成形时就完成修改。 计算机控制小工具抛光技术是采用比被加工光学元件尺寸小很多的柔性抛光工具，根据干涉仪等光学表面面形检测仪器测得的面形数据，选择合适的抛光参数在计算机控制下按照一定的路径加工工件表面，使其面形逐步收敛。 实质目的是把高级光学加工者的加工技巧数字化、定量化，由计算机驱动机床运动系统，从而控制抛光模对光学工件表面进行加工。 ②CCOS的设计思路 一个反复迭代的闭环控制过程 面形检测 与预期面形比较 选择抛光参数 计算驻留时间函数和运动路径 预算残余误差 形成机床控制文件 数控抛光一个周期 光学镜面的任意一点的材料去除量 ?首先，由高精度光学面形测量仪测量光学元件的面形误差，取得目前光学表面的面形数据； ?将面形数据与预期的面形比较，得到本加工周期所需要达到的材料去除分布函数Δz； ?选择抛光函数，根据预期的材料去除量Δz计算驻留时间函数和最优化的加工路径并通过计算机模拟最终抛光结果，如果模拟结果不符合要求，则需要重新选择抛光参数，再一次进行计算机模拟； ?重复?，直到模拟的抛光结果符合要求时，将抛光模运动参数转化成机床控制文件，并传送到机床数控系统； ?机床数控系统读入并执行控制文件，驱动机床各运动机